logo
Nhà Sản phẩmgốm cacbon silicon

Các thành phần gốm Silicon Carbide có khả năng chống ăn mòn cao cho các ứng dụng bán dẫn trong 200mm / 300mm HDPCVD Dome

Chứng nhận
Trung Quốc Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Chứng chỉ
Trung Quốc Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Chứng chỉ
Khách hàng đánh giá
NGK đánh giá cao mối quan hệ đối tác lâu dài của chúng tôi với Shaanxi Kegu. Gốm SSiC của họ vượt trội về chất lượng và sự đổi mới, thúc đẩy sự thành công chung của chúng ta. Xin chúc mừng sự hợp tác liên tục!

—— Công ty TNHH Công nghệ Nhiệt NGK

Tại Huike, chúng tôi tự hào về mối quan hệ đối tác lâu dài với Công ty Công nghệ Vật liệu Mới Shaanxi Kegu, một sự hợp tác bắt nguồn từ niềm tin, đổi mới và sự xuất sắc chung.Chuyên môn của họ trong gốm SSiC và các giải pháp đáng tin cậy đã liên tục hỗ trợ các dự án của chúng tôi.

—— Suzhou Huike Technology Co.,Ltd

Chúng tôi tại Keda rất đánh giá cao quan hệ đối tác lâu dài của chúng tôi với Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Các giải pháp gốm SSiC chất lượng cao của họ đã là một phần không thể thiếu trong các dự án của chúng tôi và chúng tôi mong đợi sự hợp tác tiếp tục và thành công chung.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

Tôi trò chuyện trực tuyến bây giờ

Các thành phần gốm Silicon Carbide có khả năng chống ăn mòn cao cho các ứng dụng bán dẫn trong 200mm / 300mm HDPCVD Dome

Các thành phần gốm Silicon Carbide có khả năng chống ăn mòn cao cho các ứng dụng bán dẫn trong 200mm / 300mm HDPCVD Dome

Sự miêu tả
Làm nổi bật:

Linh kiện gốm silicon carbide có khả năng chống ăn mòn cao

,

Vòm HDPCVD cho ứng dụng bán dẫn

,

Linh kiện gốm công nghiệp cấu hình 200mm/300mm

Các Bộ Phận Gốm Công Nghiệp Chịu Ăn Mòn Cao: Vòm & Linh Kiện HDPCVD
Các Giải Pháp Gốm Tiên Tiến cho Ứng Dụng Bán Dẫn Đòi Hỏi Khắt Khe
Các linh kiện gốm công nghiệp hiệu suất cao của chúng tôi được thiết kế cho các môi trường khắc nghiệt trong sản xuất chất bán dẫn, bao gồm các quy trình HDPCVD (Tích tụ Hóa học Pha hơi Plasma Mật độ cao). Có sẵn trong nhiều tùy chọn vật liệu để đáp ứng các yêu cầu cụ thể về nhiệt, cơ học và khả năng chống ăn mòn.
Sản Phẩm Vòm HDPCVD
Các Loại & Thông Số Kỹ Thuật Có Sẵn:
  • Vòm HDP Tiêu Chuẩn: Cấu hình 200mm / 300mm
  • SpeedDome: Tối ưu hóa cho các quy trình thông lượng cao
  • Vòm DPS: Thiết kế tăng cường khả năng kháng plasma
  • Độ Nhám Tùy Chỉnh: Bề mặt hoàn thiện đường viền bên trong từ Ra 0.5 đến Ra 5.3
  • Lợi Ích Chính: Ngăn ngừa bong tróc màng, giảm thiểu ô nhiễm hạt, tương thích với các yêu cầu quy trình khác nhau
Hướng Dẫn Lựa Chọn Vật Liệu
Thuộc Tính Alumina (Al₂O₃) Nhôm Nitride (AlN) Zirconia (ZrO₂) Silicon Carbide (SiC) Sapphire (Tinh thể đơn Al₂O₃)
Khối Lượng Riêng (g/cm³) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Độ Cứng (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
Mô đun Đàn hồi (GPa) 350-400 300-350 200-250 420-470 440-690
Độ dai gãy (MPa*m¹/²) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Độ dẫn nhiệt (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
Khả năng chống sốc nhiệt 200-280°C Tuyệt vời 300°C Tuyệt vời 800°C
Hằng số điện môi (1MHz) 9.8 8.5-9 30-33 Dẫn điện 9.3
Điện trở suất thể tích (Ω*cm) >10¹⁴ >10¹⁴ Có thể điều chỉnh Thay đổi >10¹⁴
Ưu Điểm Chính của Vật Liệu
Alumina (Al₂O₃)
  • Ổn định hóa học và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời
  • Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao
  • Lý tưởng cho các bộ phận chịu mài mòn, chất nền cách điện, thùng chứa chống ăn mòn
Nhôm Nitride (AlN)
  • Độ dẫn nhiệt vượt trội để tản nhiệt
  • Tính chất cách điện tuyệt vời
  • Hoàn hảo cho tản nhiệt điện tử, đóng gói thiết bị công suất cao
Zirconia (ZrO₂)
  • Độ dai gãy đặc biệt
  • Cơ chế làm cứng biến đổi
  • Thích hợp cho dụng cụ cắt, cảm biến oxy, pin nhiên liệu
Silicon Carbide (SiC)
  • Độ cứng và độ dẫn nhiệt cực cao
  • Tuyệt vời cho áo giáp đạn đạo, vòng bi nhiệt độ cao, linh kiện bán dẫn
Sapphire (Tinh thể đơn Al₂O₃)
  • Độ trong suốt quang học kết hợp với độ cứng cao
  • Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội
  • Lý tưởng cho các ứng dụng quang học chuyên dụng và môi trường khắc nghiệt
Tính Năng Hiệu Suất
  • Khả Năng Chống Ăn Mòn Vượt Trội: Chịu được môi trường hóa chất khắc nghiệt trong quá trình xử lý chất bán dẫn
  • Tạo Hạt Tối Thiểu: Bề mặt được thiết kế giảm thiểu ô nhiễm trong môi trường phòng sạch
  • Thuộc Tính Bề Mặt Tùy Chỉnh: Độ nhám và hoàn thiện được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu quy trình cụ thể
  • Ổn Định Nhiệt: Duy trì tính toàn vẹn về kích thước trong chu kỳ nhiệt nhanh
  • Cách Điện: Tính chất điện môi tuyệt vời cho các ứng dụng plasma
Ứng Dụng
  • Xử Lý Chất Bán Dẫn: Buồng HDPCVD, linh kiện khắc, môi trường plasma
  • Đóng Gói Điện Tử: Bộ tản nhiệt, chất nền cách điện
  • Linh Kiện Công Nghiệp: Các bộ phận chịu mài mòn, thùng chứa chống ăn mòn
  • Nghiên Cứu Nâng Cao: Thiết bị phòng thí nghiệm chuyên dụng, linh kiện quang học

Chi tiết liên lạc
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Người liên hệ: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Gửi yêu cầu thông tin của bạn trực tiếp cho chúng tôi (0 / 3000)