logo
Rumah Produkkeramik silikon karbida

Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi untuk Aplikasi Semikonduktor dalam Kubah HDPCVD 200mm/300mm

Sertifikasi
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikasi
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikasi
Ulasan pelanggan
NGK menghargai kemitraan lama kami dengan Shaanxi Kegu. Keramik SSiC mereka unggul dalam kualitas dan inovasi, mendorong kesuksesan bersama kami.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Di Huike, kami bangga dengan kemitraan jangka panjang kami dengan Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., sebuah kolaborasi yang berakar pada kepercayaan, inovasi, dan keunggulan bersama. Keahlian mereka dalam keramik SSiC dan solusi yang andal secara konsisten mendukung proyek-proyek kami.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Kami di Keda sangat menghargai kemitraan lama kami dengan Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Solusi keramik SSiC berkualitas tinggi mereka telah menjadi bagian integral dari proyek kami dan kami berharap untuk melanjutkan kolaborasi dan kesuksesan bersama.

—— Keda Industrial Group Co., Ltd.

I 'm Online Chat Now

Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi untuk Aplikasi Semikonduktor dalam Kubah HDPCVD 200mm/300mm

Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi untuk Aplikasi Semikonduktor dalam Kubah HDPCVD 200mm/300mm

Deskripsi
Menyoroti:

Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi

,

Kubah HDPCVD untuk Aplikasi Semikonduktor

,

Komponen Keramik Industri Konfigurasi 200mm/300mm

Komponen Keramik Industri Tahan Korosi Tinggi: Kubah & Komponen HDPCVD
Solusi Keramik Canggih untuk Aplikasi Semikonduktor yang Menuntut
Komponen keramik industri berkinerja tinggi kami direkayasa untuk lingkungan ekstrem dalam manufaktur semikonduktor, termasuk proses HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition). Tersedia dalam berbagai pilihan material untuk memenuhi persyaratan ketahanan termal, mekanik, dan korosi tertentu.
Produk Kubah HDPCVD
Jenis & Spesifikasi yang Tersedia:
  • Kubah HDP Standar: Konfigurasi 200mm / 300mm
  • SpeedDome: Dioptimalkan untuk proses throughput tinggi
  • Kubah DPS: Desain ketahanan plasma yang ditingkatkan
  • Kekasaran Kustom: Finishing permukaan kontur dalam dari Ra 0.5 hingga Ra 5.3
  • Manfaat Utama: Mencegah pelepasan film, meminimalkan kontaminasi partikel, kompatibel dengan berbagai persyaratan proses
Panduan Pemilihan Material
Properti Alumina (Al₂O₃) Aluminium Nitrida (AlN) Zirkonia (ZrO₂) Silikon Karbida (SiC) Safir (Kristal Tunggal Al₂O₃)
Kepadatan (g/cm³) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Kekerasan (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
Modulus Elastisitas (GPa) 350-400 300-350 200-250 420-470 440-690
Ketangguhan Fraktur (MPa*m¹/²) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Konduktivitas Termal (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
Ketahanan Guncangan Termal 200-280°C Sangat Baik 300°C Sangat Baik 800°C
Konstanta Dielektrik (1MHz) 9.8 8.5-9 30-33 Konduktif 9.3
Resistivitas Volume (Ω*cm) >10¹⁴ >10¹⁴ Dapat Disesuaikan Bervariasi >10¹⁴
Keunggulan Material Utama
Alumina (Al₂O₃)
  • Stabilitas kimia dan ketahanan korosi yang sangat baik
  • Kekerasan tinggi dan ketahanan aus
  • Ideal untuk komponen aus, substrat isolasi, wadah tahan korosi
Aluminium Nitrida (AlN)
  • Konduktivitas termal unggul untuk pembuangan panas
  • Sifat isolasi listrik yang sangat baik
  • Sempurna untuk heat sink elektronik, pengemasan perangkat berdaya tinggi
Zirkonia (ZrO₂)
  • Ketangguhan fraktur yang luar biasa
  • Mekanisme pengerasan transformasi
  • Cocok untuk alat potong, sensor oksigen, sel bahan bakar
Silikon Karbida (SiC)
  • Kekerasan ekstrem dan konduktivitas termal
  • Sangat baik untuk pelindung balistik, bantalan suhu tinggi, komponen semikonduktor
Safir (Kristal Tunggal Al₂O₃)
  • Transparansi optik dikombinasikan dengan kekerasan tinggi
  • Ketahanan guncangan termal yang unggul
  • Ideal untuk aplikasi optik khusus dan lingkungan ekstrem
Fitur Kinerja
  • Ketahanan Korosi Unggul: Tahan terhadap lingkungan kimia agresif dalam pemrosesan semikonduktor
  • Generasi Partikel Minimal: Permukaan yang direkayasa mengurangi kontaminasi di lingkungan ruang bersih
  • Properti Permukaan yang Dapat Disesuaikan: Kekasaran dan finishing yang disesuaikan untuk memenuhi persyaratan proses tertentu
  • Stabilitas Termal: Mempertahankan integritas dimensi di bawah siklus termal yang cepat
  • Isolasi Listrik: Sifat dielektrik yang sangat baik untuk aplikasi plasma
Aplikasi
  • Pemrosesan Semikonduktor: Ruang HDPCVD, komponen etsa, lingkungan plasma
  • Pengemasan Elektronik: Penyebar panas, substrat isolasi
  • Komponen Industri: Bagian tahan aus, wadah tahan korosi
  • Penelitian Lanjutan: Peralatan laboratorium khusus, komponen optik

Rincian kontak
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Kontak Person: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Mengirimkan permintaan Anda secara langsung kepada kami (0 / 3000)