Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi untuk Aplikasi Semikonduktor dalam Kubah HDPCVD 200mm/300mm
Properti Dasar
Tempat Asal:
Cina
Nama Merek:
KEGU
Nomor Model:
Dapat disesuaikan
Properti Perdagangan
Jumlah Pesanan Minimum:
Bisa dinegosiasikan
Harga:
dapat dinegosiasikan
Ketentuan Pembayaran:
L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
Ringkasan Produk
Komponen Keramik Industri Tahan Korosi Tinggi: Kubah & Komponen HDPCVD Solusi Keramik Canggih untuk Aplikasi Semikonduktor yang Menuntut Komponen keramik industri berkinerja tinggi kami direkayasa untuk lingkungan ekstrem dalam manufaktur semikonduktor, termasuk proses HDPCVD (High-Density Plasma ...
Rincian produk
Menyoroti:
Komponen Keramik Silikon Karbida dengan Ketahanan Korosi Tinggi
,Kubah HDPCVD untuk Aplikasi Semikonduktor
,Komponen Keramik Industri Konfigurasi 200mm/300mm
Usage:
Penggunaan industri
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Resistensi keausan tinggi
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6 /K
Material Composition:
4%Si >96%Sik
Working Temperature:
1650
Advantage:
Ketahanan aus dan abrasi
Purity:
98%
Material:
keramik silikon karbida
Acid Alkaline Proof:
Bagus sekali
Solubility:
Tidak larut
Open Porosity:
<0,1%
Flexural Strength:
Tekanan 350-550 MPa
Deskripsi Produk
Komponen Keramik Industri Tahan Korosi Tinggi: Kubah & Komponen HDPCVD
Solusi Keramik Canggih untuk Aplikasi Semikonduktor yang Menuntut
Komponen keramik industri berkinerja tinggi kami direkayasa untuk lingkungan ekstrem dalam manufaktur semikonduktor, termasuk proses HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition). Tersedia dalam berbagai pilihan material untuk memenuhi persyaratan ketahanan termal, mekanik, dan korosi tertentu.
Komponen keramik industri berkinerja tinggi kami direkayasa untuk lingkungan ekstrem dalam manufaktur semikonduktor, termasuk proses HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition). Tersedia dalam berbagai pilihan material untuk memenuhi persyaratan ketahanan termal, mekanik, dan korosi tertentu.
Produk Kubah HDPCVD
Jenis & Spesifikasi yang Tersedia:
- Kubah HDP Standar: Konfigurasi 200mm / 300mm
- SpeedDome: Dioptimalkan untuk proses throughput tinggi
- Kubah DPS: Desain ketahanan plasma yang ditingkatkan
- Kekasaran Kustom: Finishing permukaan kontur dalam dari Ra 0.5 hingga Ra 5.3
- Manfaat Utama: Mencegah pelepasan film, meminimalkan kontaminasi partikel, kompatibel dengan berbagai persyaratan proses
Panduan Pemilihan Material
| Properti | Alumina (Al₂O₃) | Aluminium Nitrida (AlN) | Zirkonia (ZrO₂) | Silikon Karbida (SiC) | Safir (Kristal Tunggal Al₂O₃) |
|---|---|---|---|---|---|
| Kepadatan (g/cm³) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| Kekerasan (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| Modulus Elastisitas (GPa) | 350-400 | 300-350 | 200-250 | 420-470 | 440-690 |
| Ketangguhan Fraktur (MPa*m¹/²) | 3-4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| Konduktivitas Termal (W/m*K) | 28-32 | 180-200 | 2-3 | 160-200 | 40 |
| Ketahanan Guncangan Termal | 200-280°C | Sangat Baik | 300°C | Sangat Baik | 800°C |
| Konstanta Dielektrik (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30-33 | Konduktif | 9.3 |
| Resistivitas Volume (Ω*cm) | >10¹⁴ | >10¹⁴ | Dapat Disesuaikan | Bervariasi | >10¹⁴ |
Keunggulan Material Utama
Alumina (Al₂O₃)
- Stabilitas kimia dan ketahanan korosi yang sangat baik
- Kekerasan tinggi dan ketahanan aus
- Ideal untuk komponen aus, substrat isolasi, wadah tahan korosi
Aluminium Nitrida (AlN)
- Konduktivitas termal unggul untuk pembuangan panas
- Sifat isolasi listrik yang sangat baik
- Sempurna untuk heat sink elektronik, pengemasan perangkat berdaya tinggi
Zirkonia (ZrO₂)
- Ketangguhan fraktur yang luar biasa
- Mekanisme pengerasan transformasi
- Cocok untuk alat potong, sensor oksigen, sel bahan bakar
Silikon Karbida (SiC)
- Kekerasan ekstrem dan konduktivitas termal
- Sangat baik untuk pelindung balistik, bantalan suhu tinggi, komponen semikonduktor
Safir (Kristal Tunggal Al₂O₃)
- Transparansi optik dikombinasikan dengan kekerasan tinggi
- Ketahanan guncangan termal yang unggul
- Ideal untuk aplikasi optik khusus dan lingkungan ekstrem
Fitur Kinerja
- Ketahanan Korosi Unggul: Tahan terhadap lingkungan kimia agresif dalam pemrosesan semikonduktor
- Generasi Partikel Minimal: Permukaan yang direkayasa mengurangi kontaminasi di lingkungan ruang bersih
- Properti Permukaan yang Dapat Disesuaikan: Kekasaran dan finishing yang disesuaikan untuk memenuhi persyaratan proses tertentu
- Stabilitas Termal: Mempertahankan integritas dimensi di bawah siklus termal yang cepat
- Isolasi Listrik: Sifat dielektrik yang sangat baik untuk aplikasi plasma
Aplikasi
- Pemrosesan Semikonduktor: Ruang HDPCVD, komponen etsa, lingkungan plasma
- Pengemasan Elektronik: Penyebar panas, substrat isolasi
- Komponen Industri: Bagian tahan aus, wadah tahan korosi
- Penelitian Lanjutan: Peralatan laboratorium khusus, komponen optik
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- E-mail: scarlett.s@kegugroup.com
- Telp: 8616602956098
- Whatsapp: 8613390790728
-
Wechat wechat:
Scarlettseren533
Produk Terkait
-
Silicon Carbide Sealing Rings dengan 1650°C Max Service Temperature, 380MPa Flexural Strength, dan Korosi Resistance
Cincin penyegelan Karbida Silikon (SiC) Kinerja lanjutan untuk aplikasi yang menuntut Ringkasan Produk Cincin Penyegelan Karbida Silikon Tanpa Tekanan kami mewakili puncak teknologi penyegelan, dirancang untuk memberikan kinerja yang tak tertandingi dalam kondisi operasi yang ekstrim.Menggunakan ... -
Pembakar Pipa Keramik Karbida Silikon yang disesuaikan dengan suhu maksimum 1650 °C, pengurangan bahan bakar 20% dan ketahanan kelelahan termal
Pipa Pembakar Keramik Silikon Karbida yang Disesuaikan Tabung Berpancaran Bersirip ZG Industrial menyediakan pipa pembakar keramik silikon karbida dan tabung berpancaran bersirip yang disesuaikan dengan kinerja tinggi. Direkayasa untuk kondisi ekstrem, tabung komposit Si/SiC kami memberikan transfer ... -
Nozzle Sandblasting Karbida Silikon dengan ketahanan aus yang unggul, masa pakai yang diperpanjang, dan teknik presisi untuk aplikasi industri
Nozzles untuk Sandblasting Silicon Carbide (SiC) Ketahanan haus yang lebih tinggi untuk aplikasi perawatan permukaan industri Nozzles Silicon Carbide Sandblasting kami dirancang untuk daya tahan dan presisi ekstrim dalam aplikasi perawatan permukaan yang menuntut.Dibuat dengan menekan isostatik ... -
NIJ bersertifikat Silisium Karbida Body Armor dengan Multi-Hit Kapasitas dan Pertahanan Ringan untuk Perlindungan Ballistic
Pelindung Keramik Karbida Silikon: Perlindungan Ballistik yang Lebih Tinggi Perisai keramik silikon karbida (SiC) kami yang canggih mewakili puncak teknologi bahan balistik, menggabungkan kekerasan yang luar biasa (9.5 Mohs) dengan berat yang berkurang secara signifikan untuk memberikan perlindungan ...
