logo
Dom Produktyceramika z węglanu krzemu

Wysokoodporne na korozję ceramiczne komponenty z węglika krzemu do zastosowań w półprzewodnikach w kopułach HDPCVD 200mm/300mm

Orzecznictwo
Chiny Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certyfikaty
Chiny Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certyfikaty
Opinie klientów
NGK ceni sobie nasze wieloletnie partnerstwo z Shaanxi Kegu. Ich ceramika SSiC wyróżnia się jakością i innowacjami, napędzając nasz wspólny sukces.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

W Huike jesteśmy dumni z naszej wieloletniej współpracy z Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., współpracy opartej na zaufaniu, innowacjach i wspólnej doskonałości.Ich doświadczenie w keramikach SSiC i niezawodne rozwiązania konsekwentnie wspierały nasze projekty.

—— Suzhou Huike Technology Co., Ltd.

W Keda bardzo doceniamy naszą długotrwałą współpracę z Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. Ich wysokiej jakości ceramiczne rozwiązania SSiC były integralną częścią naszych projektów i oczekujemy dalszej współpracy i wspólnego sukcesu.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

Im Online Czat teraz

Wysokoodporne na korozję ceramiczne komponenty z węglika krzemu do zastosowań w półprzewodnikach w kopułach HDPCVD 200mm/300mm

Wysokoodporne na korozję ceramiczne komponenty z węglika krzemu do zastosowań w półprzewodnikach w kopułach HDPCVD 200mm/300mm

Opis
Podkreślić:

Ceramiczne komponenty z węglika krzemu o wysokiej odporności na korozję

,

Kopuła HDPCVD do zastosowań w półprzewodnikach

,

Przemysłowe części ceramiczne w konfiguracjach 200mm/300mm

Przemysłowe części ceramiczne o wysokiej odporności na korozję: kopuły i komponenty HDPCVD
Zaawansowane rozwiązania ceramiczne do wymagających zastosowań półprzewodników
Nasze wysokowydajne przemysłowe komponenty ceramiczne zostały zaprojektowane z myślą o ekstremalnych warunkach w produkcji półprzewodników, w tym o procesach HDPCVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej o dużej gęstości). Dostępne w wielu opcjach materiałowych, aby spełnić określone wymagania dotyczące odporności termicznej, mechanicznej i antykorozyjnej.
Produkty kopułkowe HDPCVD
Dostępne typy i specyfikacje:
  • Standardowa kopułka HDP: konfiguracje 200 mm / 300 mm
  • SpeedDome: Zoptymalizowany pod kątem procesów o dużej przepustowości
  • Kopuła DPS: Wzmocnione konstrukcje odporne na plazmę
  • Niestandardowa szorstkość: Wykończenie powierzchni konturu wewnętrznego od Ra 0,5 do Ra 5,3
  • Kluczowe korzyści: Zapobiega zrzucaniu filmu, minimalizuje zanieczyszczenie cząstkami, kompatybilny z różnymi wymaganiami procesu
Przewodnik po wyborze materiałów
Nieruchomość Tlenek glinu (Al₂O₃) Azotek glinu (AlN) Cyrkon (ZrO₂) Węglik krzemu (SiC) Szafir (pojedynczy kryształ Al₂O₃)
Gęstość (g/cm3) 3.9 3.3 6,0 3.21 3,97
Twardość (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22,5
Moduł sprężystości (GPa) 350-400 300-350 200-250 420-470 440-690
Odporność na pękanie (MPa*m¹/²) 3-4 2,8-3,3 10-11 3,5-3,6 2.6
Przewodność cieplna (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
Odporność na szok termiczny 200-280°C Doskonały 300°C Doskonały 800°C
Stała dielektryczna (1 MHz) 9,8 8,5-9 30-33 Przewodzący 9.3
Rezystywność objętościowa (Ω*cm) >10¹⁴ >10¹⁴ Nastawny Różnie >10¹⁴
Kluczowe zalety materiałów
Tlenek glinu (Al₂O₃)
  • Doskonała stabilność chemiczna i odporność na korozję
  • Wysoka twardość i odporność na zużycie
  • Idealny do elementów ulegających zużyciu, podłoży izolacyjnych, pojemników odpornych na korozję
Azotek glinu (AlN)
  • Doskonała przewodność cieplna w celu odprowadzania ciepła
  • Doskonałe właściwości izolacji elektrycznej
  • Idealny do elektronicznych radiatorów, opakowań urządzeń dużej mocy
Cyrkon (ZrO₂)
  • Wyjątkowa odporność na pękanie
  • Mechanizm wzmacniania transformacji
  • Nadaje się do narzędzi skrawających, czujników tlenu, ogniw paliwowych
Węglik krzemu (SiC)
  • Ekstremalna twardość i przewodność cieplna
  • Doskonały do ​​pancerzy balistycznych, łożysk wysokotemperaturowych i elementów półprzewodnikowych
Szafir (pojedynczy kryształ Al₂O₃)
  • Przezroczystość optyczna połączona z dużą twardością
  • Doskonała odporność na szok termiczny
  • Idealny do specjalistycznych zastosowań optycznych i ekstremalnych środowisk
Funkcje wydajności
  • Doskonała odporność na korozję: Wytrzymuje agresywne środowisko chemiczne podczas przetwarzania półprzewodników
  • Minimalne wytwarzanie cząstek: Zaprojektowane powierzchnie zmniejszają zanieczyszczenie w pomieszczeniach czystych
  • Konfigurowalne właściwości powierzchni: Chropowatość i wykończenie dostosowane do specyficznych wymagań procesu
  • Stabilność termiczna: Zachowuje integralność wymiarową w warunkach szybkich cykli termicznych
  • Izolacja elektryczna: Doskonałe właściwości dielektryczne do zastosowań plazmowych
Aplikacje
  • Przetwarzanie półprzewodników: Komory HDPCVD, elementy trawiące, środowiska plazmowe
  • Opakowanie elektroniczne: Rozpraszacze ciepła, podłoża izolacyjne
  • Komponenty przemysłowe: Części odporne na zużycie, pojemniki odporne na korozję
  • Zaawansowane badania: Specjalistyczny sprzęt laboratoryjny, elementy optyczne

Szczegóły kontaktu
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Osoba kontaktowa: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Wyślij zapytanie bezpośrednio do nas (0 / 3000)