logo
Καλώς ήρθατε στο Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

Κεραμικά συστατικά καρβιδίου του πυριτίου υψηλής αντοχής στη διάβρωση για εφαρμογές ημιαγωγών σε θόλους HDPCVD 200 mm/300 mm

Βασικές Ιδιότητες
Τόπος καταγωγής: Κίνα
Επωνυμία: KEGU
Αριθμός μοντέλου: Προσαρμόσιμο
Εμπορικά Ακίνητα
Ελάχιστη ποσότητα παραγγελίας: Διαπραγματεύσιμος
Τιμή: Διαπραγματεύσιμα
Όροι πληρωμής: L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
Σύνοψη του προϊόντος
Βιομηχανικά κεραμικά μέρη υψηλής αντοχής στη διάβρωση: θόλοι και εξαρτήματα HDPCVD Προηγμένες κεραμικές λύσεις για απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγώνΤα υψηλής απόδοσης βιομηχανικά κεραμικά μας εξαρτήματα είναι σχεδιασμένα για ακραία περιβάλλοντα στην παραγωγή ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των διεργασι...

Λεπτομέρειες προιόντος

Επισημαίνω:

Κεραμικά εξαρτήματα καρβιδίου του πυριτίου υψηλής αντοχής στη διάβρωση

,

Εφαρμογές ημιαγωγών HDPCVD Dome

,

Βιομηχανικά κεραμικά μέρη διαμορφώσεων 200mm/300mm

Usage: Χρήση της βιομηχανίας
Chemical Composition: Al2O3, SiO2
Sic Content: 85%
Maximum Temperature: 1600 ℃
Characteristics: Υψηλή αντοχή στη φθορά
Thermal Expansion Coefficient: 4,0-4,5 × 10^-6 /Κ
Material Composition: 4%Si >96%Sic
Working Temperature: 1650
Advantage: Αντοχή στη φθορά και στην τριβή
Purity: 98%
Material: κεραμικά από καρβίδιο του πυριτίου
Acid Alkaline Proof: Εξοχος
Solubility: Αδιάλυτος
Open Porosity: <0,1%
Flexural Strength: 350-550 MPa
Περιγραφή προϊόντων
Βιομηχανικά κεραμικά μέρη υψηλής αντοχής στη διάβρωση: θόλοι και εξαρτήματα HDPCVD
Προηγμένες κεραμικές λύσεις για απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών
Τα υψηλής απόδοσης βιομηχανικά κεραμικά μας εξαρτήματα είναι σχεδιασμένα για ακραία περιβάλλοντα στην παραγωγή ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των διεργασιών HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition).Διαθέσιμα σε πολλαπλές επιλογές υλικών για την ικανοποίηση ειδικών θερμικών, μηχανικές απαιτήσεις και απαιτήσεις αντοχής στη διάβρωση.
Προϊόντα HDPCVD Dome
Διαθέσιμοι τύποι και προδιαγραφές:
  • Τυποποιημένος θόλος HDP: Διαμορφώσεις 200 mm / 300 mm
  • SpeedDome: Βελτιστοποιημένο για διαδικασίες υψηλής απόδοσης
  • Δόμος DPS: Ενισχυμένα σχέδια αντίστασης πλάσματος
  • Επεξεργασμένη τραχύτητα: Τελική επιφάνεια εσωτερικού διαγράμματος από Ra 0,5 έως Ra 5.3
  • Βασικά ΟφέληΠρολαμβάνει την απόρριψη φιλμ, ελαχιστοποιεί τη μόλυνση από σωματίδια, είναι συμβατό με διάφορες απαιτήσεις της διαδικασίας
Οδηγός επιλογής υλικού
Ιδιοκτησία Αλουμίνιο (Al2O3) Νιτρικό αλουμίνιο (AlN) Ζυρκόνιο (ZrO2) Καρβίδιο του πυριτίου (SiC) Ζαφείρι (Μιακρόκρυσταλλικό Al2O3)
Σφιχτότητα (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Σκληρότητα (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
Ελαστικός Μοδούλος (GPa) 350 έως 400 300-350 200-250 420 έως 470 440-690
Δυνατότητα σπάσματος (MPa*m1/2) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Θερμική αγωγιμότητα (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
Αντοχή σε θερμικά σοκ 200-280°C Εξαιρετικό. 300°C Εξαιρετικό. 800°C
Διοηλεκτρική σταθερά (1MHz) 9.8 8.5-9 30-33 Διοχετικό 9.3
Αντίσταση όγκου (Ω*cm) >1014 >1014 Ρυθμίσιμο Διαφέρει >1014
Βασικά πλεονεκτήματα υλικού
Αλουμίνιο (Al2O3)
  • Εξαιρετική χημική σταθερότητα και αντοχή στη διάβρωση
  • Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στην φθορά
  • Ιδανικό για κατασκευαστικά στοιχεία φθοράς, μονωτικά υπόστρωμα, ανθεκτικά στην διάβρωση δοχεία
Νιτρικό αλουμίνιο (AlN)
  • Ανώτερη θερμική αγωγιμότητα για την απώλεια θερμότητας
  • Εξαιρετικές ιδιότητες ηλεκτρικής μόνωσης
  • Ιδανικό για ηλεκτρονικούς απορροφητές θερμότητας, συσκευασία συσκευών υψηλής ισχύος
Ζυρκόνιο (ZrO2)
  • Εξαιρετική αντοχή σε κατάγματα
  • Μηχανισμός σκληρύνωσης μετατροπής
  • Διορθωτικά για εργαλεία κοπής, αισθητήρες οξυγόνου, κυψέλες καυσίμου
Καρβίδιο του πυριτίου (SiC)
  • Εξαιρετική σκληρότητα και θερμική αγωγιμότητα
  • Εξαιρετικό για βαλλιστική θωράκιση, ρουλεμάν υψηλής θερμοκρασίας, εξαρτήματα ημιαγωγών
Ζαφείρι (Μιακρόκρυσταλλικό Al2O3)
  • Οπτική διαφάνεια σε συνδυασμό με υψηλή σκληρότητα
  • Υπερισσότερη αντοχή σε θερμικά σοκ
  • Ιδανικό για εξειδικευμένες εφαρμογές οπτικής και ακραίων περιβάλλοντων
Χαρακτηριστικά απόδοσης
  • Υψηλότερη αντοχή στη διάβρωση: Αντιστέκεται σε επιθετικά χημικά περιβάλλοντα στην επεξεργασία ημιαγωγών
  • Ελάχιστη παραγωγή σωματιδίων: Οι κατασκευασμένες επιφάνειες μειώνουν τη μόλυνση σε περιβάλλοντα καθαρών δωματίων
  • Προσαρμόσιμες ιδιότητες επιφάνειας: Προσαρμοσμένη τραχύτητα και τελική επεξεργασία για να ανταποκρίνονται στις ειδικές απαιτήσεις της διαδικασίας
  • Θερμική σταθερότητα: Διατηρεί την ακεραιότητα των διαστάσεων υπό ταχύ θερμικό κύκλο
  • Ηλεκτρική μόνωση: Εξαιρετικές διηλεκτρικές ιδιότητες για εφαρμογές πλάσματος
Εφαρμογές
  • Επεξεργασία ημιαγωγών: θάλαμοι HDPCVD, εξαρτήματα χαρακτικής, περιβάλλοντα πλάσματος
  • Ηλεκτρονική συσκευασία: Διαχέτες θερμότητας, μονωτικά υποστρώματα
  • Βιομηχανικά εξαρτήματα: Ανθεκτικά στην φθορά μέρη, ανθεκτικά στην διάβρωση δοχεία
  • Προηγμένη Έρευνα: Ειδικό εργαστήριο, οπτικά εξαρτήματα
Σχετικά Προϊόντα

Στείλε Ερευνά