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Componentes cerámicos de carburo de silicio de alta resistencia a la corrosión para aplicaciones de semiconductores en cúpulas HDPCVD de 200 mm/300 mm

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Certificación
Porcelana Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaciones
Porcelana Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaciones
Comentarios de cliente
NGK valora nuestra larga asociación con Shaanxi Kegu. Sus cerámicas SSiC sobresalen en calidad e innovación, impulsando nuestro éxito mutuo. ¡Por una colaboración continua!

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

En Huike, nos enorgullece nuestra larga colaboración con Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., una asociación basada en la confianza, la innovación y la excelencia compartida. Su experiencia en cerámicas SSiC y soluciones confiables han respaldado consistentemente nuestros proyectos.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Nosotros en Keda apreciamos mucho nuestra asociación de larga data con Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Sus soluciones cerámicas SSiC de alta calidad han sido parte integral de nuestros proyectos y esperamos continuar la colaboración y el éxito compartido.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

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Componentes cerámicos de carburo de silicio de alta resistencia a la corrosión para aplicaciones de semiconductores en cúpulas HDPCVD de 200 mm/300 mm

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

Ampliación de imagen :  Componentes cerámicos de carburo de silicio de alta resistencia a la corrosión para aplicaciones de semiconductores en cúpulas HDPCVD de 200 mm/300 mm

Datos del producto:
Contacto

Componentes cerámicos de carburo de silicio de alta resistencia a la corrosión para aplicaciones de semiconductores en cúpulas HDPCVD de 200 mm/300 mm

descripción
Resaltar:

Componentes cerámicos de carburo de silicio de alta resistencia a la corrosión

,

Cúpula HDPCVD para aplicaciones de semiconductores

,

Piezas cerámicas industriales en configuraciones de 200 mm/300 mm

Partes cerámicas industriales de alta resistencia a la corrosión: cúpulas y componentes HDPCVD
Soluciones cerámicas avanzadas para aplicaciones de semiconductores exigentes
Nuestros componentes cerámicos industriales de alto rendimiento están diseñados para entornos extremos en la fabricación de semiconductores, incluidos los procesos de deposición de vapor químico de plasma de alta densidad (HDPCVD).Disponible en múltiples opciones de materiales para satisfacer las necesidades térmicas específicas, requisitos de resistencia mecánica y a la corrosión.
Productos de cúpula HDPCVD
Tipos y especificaciones disponibles:
  • Cúpula HDP estándar: configuraciones de 200 mm / 300 mm
  • El SpeedDome: Optimizado para procesos de alto rendimiento
  • Cúpula DPS: Diseños mejorados de resistencia al plasma
  • Roughness a medida: acabado de la superficie del contorno interior de Ra 0,5 a Ra 5.3
  • Beneficios clave: Previene el derrame de película, minimiza la contaminación por partículas, es compatible con diversos requisitos del proceso
Guía de selección de materiales
Propiedad Alumina (Al2O3) Nitrato de aluminio (AlN) Circonio (ZrO2) Carburo de silicio (SiC) Zafiro (Cristal único Al2O3)
Densidad (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Dureza (GPa) 14 y 17 10 y 12 13 27 y 28 22.5
Modulo elástico (GPa) 350 a 400 Entre 300 y 350 Entre 200 y 250 Las demás: 440 a 690
Durabilidad a la fractura (MPa*m1/2) 3 y 4 2.8-3.3 El 10 al 11 3.5-3.6 2.6
Conductividad térmica (W/m*K) 28 a 32 años 180 a 200 2 y 3 160 a 200 40
Resistencia al choque térmico 200 a 280 °C Es excelente. 300 °C Es excelente. 800 °C
Constante dieléctrica (1MHz) 9.8 8.5 a 9 Entre 30 y 33 Conductivo 9.3
Resistencia por volumen (Ω*cm) > 1014 > 1014 Adjustable Varias > 1014
Ventajas clave del material
Alumina (Al2O3)
  • Excelente estabilidad química y resistencia a la corrosión
  • Alta dureza y resistencia al desgaste
  • Ideal para componentes de desgaste, sustratos aislantes, recipientes resistentes a la corrosión
Nitrato de aluminio (AlN)
  • Conductividad térmica superior para la disipación de calor
  • Excelentes propiedades de aislamiento eléctrico
  • Perfecto para disipadores de calor electrónicos, embalaje de dispositivos de alta potencia
Circonio (ZrO2)
  • Resistencia excepcional a las fracturas
  • Mecanismo de endurecimiento por transformación
  • Apto para herramientas de corte, sensores de oxígeno, pilas de combustible
Carburo de silicio (SiC)
  • Dureza extrema y conductividad térmica
  • Excelente para blindaje balístico, rodamientos de alta temperatura, componentes de semiconductores
Zafiro (Cristal único Al2O3)
  • Transparencia óptica combinada con una alta dureza
  • Resistencia superior a las descargas térmicas
  • Ideal para aplicaciones ópticas especializadas y ambientes extremos
Características de rendimiento
  • Resistencia a la corrosión superior: Resiste ambientes químicos agresivos en el procesamiento de semiconductores
  • Generación mínima de partículas: Las superficies diseñadas reducen la contaminación en los ambientes de las salas limpias
  • Propiedades de superficie personalizables: rugosidad y acabado adaptados a las necesidades específicas del proceso
  • Estabilidad térmica: Mantiene la integridad dimensional en ciclos térmicos rápidos
  • Aislamiento eléctrico: Excelentes propiedades dieléctricas para aplicaciones de plasma
Aplicaciones
  • Procesamiento de semiconductores: cámaras HDPCVD, componentes de grabado, entornos de plasma
  • Embalaje electrónico: Dispersores de calor, sustratos aislantes
  • Componentes industriales: piezas resistentes al desgaste, recipientes resistentes a la corrosión
  • Investigación avanzada: Equipos de laboratorio especializados, componentes ópticos

etiqueta:

Cerámica de carburo de silicio,

SIC sinterizado sin presión,

Sic cerámica

Contacto
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Persona de Contacto: Ms. Yuki

Teléfono: 8615517781293

Envíe su pregunta directamente a nosotros (0 / 3000)

Sobre

cerámica de carburo de silicio

Horquillas de SiC resistentes a altas temperaturas con temperatura de servicio máxima de 1650 °C y resistencia a la flexión de 3800 MPa para la fabricación de semiconductores

Rollo de SiC sinterizado sin presión personalizable 1650°C Resistente al calor para hornos de chimenea de rodillos

Carburo de silicio unido por reacción

Tubos de refrigeración por aire de carburo de silicio sinterizado por reacción para refrigeración industrial a altas temperaturas con temperatura de servicio máxima de 1380 °C y resistencia a la flexión de 250 MPa

Quemador de SiC estable a altas temperaturas con resistencia al choque térmico y a la corrosión para hornos industriales

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