logo
خوش آمدید Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

اجزای سرامیکی کربید سیلیکون با مقاومت بالای خوردگی برای کاربردهای نیمه هادی در 200mm / 300mm HDPCVD Dome

خواص اساسی
محل مبدا: چین
نام تجاری: KEGU
شماره مدل: قابل تنظیم
املاک تجاری
حداقل مقدار سفارش: قابل مذاکره
قیمت: قابل مذاکره
شرایط پرداخت: L/C، D/A، D/P، T/T، وسترن یونیون، مانی گرام
خلاصه محصول
High-Corrosion Resistance Industrial Ceramic Parts: HDPCVD Domes & Components (مورد های سرامیکی صنعتی با مقاومت بالای خوردگی): راه حل های سرامیکی پیشرفته برای کاربردهای نیمه هادیاجزای سرامیکی صنعتی با عملکرد بالا ما برای محیط های شدید در تولید نیمه هادی طراحی شده اند، از جمله فرآیندهای HDPCVD (تخلیه ...

جزئیات محصول

برجسته کردن:

اجزای سرامیکی کاربید سیلیکون با مقاومت بالا در برابر خوردگی

,

گنبد HDPCVD برای کاربردهای نیمه هادی

,

قطعات سرامیکی صنعتی با پیکربندی 200 میلی متر / 300 میلی متر

Usage: استفاده از صنعت
Chemical Composition: Al2O3، SiO2
Sic Content: 85%
Maximum Temperature: 1600
Characteristics: مقاومت در برابر سایش زیاد
Thermal Expansion Coefficient: 4.0-4.5 × 10^-6 /K
Material Composition: 4%Si >96%Sic
Working Temperature: 1650
Advantage: مقاومت در برابر سایش و سایش
Purity: 98%
Material: سرامیک کربید سیلیکون
Acid Alkaline Proof: عالی
Solubility: نامحلول
Open Porosity: <0.1%
Flexural Strength: 350-550 مگاپاسکال
توضیحات محصول
High-Corrosion Resistance Industrial Ceramic Parts: HDPCVD Domes & Components (مورد های سرامیکی صنعتی با مقاومت بالای خوردگی):
راه حل های سرامیکی پیشرفته برای کاربردهای نیمه هادی
اجزای سرامیکی صنعتی با عملکرد بالا ما برای محیط های شدید در تولید نیمه هادی طراحی شده اند، از جمله فرآیندهای HDPCVD (تخلیه بخار شیمیایی پلاسما با چگالی بالا).موجود در گزینه های مختلف مواد برای دیدار با حرارتی خاص، الزامات مقاومتی مکانیکی و خوردگی.
محصولات گنبد HDPCVD
انواع و مشخصات موجود:
  • گنبد استاندارد HDP: 200mm / 300mm konfigurations
  • اسپید دوم: بهینه سازی شده برای فرایندهای تولید بالا
  • گنبد DPSطرح های مقاومت پلاسما پیشرفته
  • خاشاکی سفارشی: ختم سطح کنتور داخلی از Ra 0.5 تا Ra 5.3
  • مزایای کلیدی: از ریختن فیلم جلوگیری می کند، آلودگی ذرات را به حداقل می رساند، سازگار با نیازهای مختلف فرآیند
راهنماي انتخاب مواد
مالکیت آلومینیوم (Al2O3) آلومينيوم نيتريد (AlN) زرکونیا (ZrO2) سیلیکون کارباید (SiC) سفیر (یک کریستال Al2O3)
تراکم (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
سختي (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
ماژول انعطاف پذیری (GPa) ۳۵۰ تا ۴۰۰ 300 تا 350 200 تا 250 420 تا 470. 440 تا 690
مقاومت شکستگی (MPa*m1/2) 3- 4 2.8-33 10-11 3.۵-۳6 2.6
رسانایی حرارتی (W/m*K) 28 تا 32 180 تا 200 2-3 160 تا 200 40
مقاومت در برابر شوک حرارتی 200 تا 280 درجه سانتیگراد عالی بود ۳۰۰ درجه سانتیگراد عالی بود 800 درجه سانتیگراد
ثابت دی الکتریک 1 مگاهرتز 9.8 8.5-9 30-33 رسانا 9.3
مقاومت حجم (Ω*cm) >1014 >1014 قابل تنظیم متفاوت است >1014
مزیت های کلیدی
آلومینیوم (Al2O3)
  • ثبات شیمیایی عالی و مقاومت در برابر خوردگی
  • سختي بالا و مقاومت لباس
  • ایده آل برای پوشیدن قطعات، زیربناهای عایق، ظروف مقاوم به خوردگی
آلومينيوم نيتريد (AlN)
  • رسانایی حرارتی عالی برای تبعید گرما
  • خواص عایق برق عالی
  • مناسب برای غوطه های گرمای الکترونیک، بسته بندی دستگاه های قدرتمند
زرکونیا (ZrO2)
  • مقاومت شکستگی استثنایی
  • سازوکار سخت سازی تحول
  • مناسب برای ابزار برش، سنسورهای اکسیژن، سلول های سوخت
سیلیکون کارباید (SiC)
  • سختي فوق العاده و رسانايي حرارتي
  • عالی برای زره بالیستیک، لوله کش های دمای بالا، قطعات نیمه هادی
سفیر (یک کریستال Al2O3)
  • شفافیت نوری همراه با سختی بالا
  • مقاومت بالا در برابر شوک حرارتی
  • ایده آل برای کاربردهای ویژه نوری و محیط های شدید
ویژگی های عملکرد
  • مقاومت در برابر خوردگی: مقاومت در برابر محیط های شیمیایی تهاجمی در پردازش نیمه هادی
  • تولید ذرات حداقل: سطوح مهندسی شده آلودگی را در محیط های اتاق پاک کاهش می دهند
  • ویژگی های سطحی قابل تنظیم: خشکی و تکمیل متناسب با الزامات فرآیند خاص
  • ثبات حرارتی: حفظ تمامیت ابعاد تحت چرخه ی گرمای سریع
  • عایق برق: خواص ديالکتريک عالي براي کاربردهاي پلازما
درخواست ها
  • پردازش نیمه هادی: اتاق های HDPCVD، قطعات برقی، محیط های پلاسما
  • بسته بندی الکترونیکپخش کننده های گرما، زیربناهای عایق دهنده
  • اجزای صنعتی: قطعات مقاوم به پوشیدن، ظروف مقاوم به خوردگی
  • تحقیقات پیشرفتهتجهیزات آزمایشگاهی تخصصی، قطعات نوری
محصولات مرتبط

درخواست ارسال کنید