logo
Ana sayfa Ürünlersilikon karbid seramik

200mm/300mm HDPCVD Kubbeleri İçin Yarı İletken Uygulamalarında Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri

Sertifika
Çin Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikalar
Çin Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikalar
Müşteri yorumları
NGK, Shaanxi Kegu ile uzun süredir süren ortaklığımıza değer veriyor. Onların SSiC seramikleri kalite ve yenilikçiliğiyle öne çıkıyor, karşılıklı başarımızı yönlendiriyor.

—— NGK Thermal Technology Co., Ltd.

Huike'de, Shaanxi Kegu Yeni Malzeme Teknolojisi Şirketi'yle uzun süredir süren ortaklığımızla gurur duyuyoruz. Güven, yenilik ve ortak mükemmellik üzerine kurulan bir işbirliği.SSiC seramiklerinde uzmanlıkları ve güvenilir çözümleri projelerimizi sürekli destekledi.

—— Suzhou Huike Technology Co., Ltd.

Keda olarak, Shaanxi Kegu Yeni Malzeme Teknolojisi A.Ş. ile uzun süredir devam eden ortaklığımızı büyük bir memnuniyetle karşılıyoruz. Yüksek kaliteli SSiC seramik çözümleri projelerimizin ayrılmaz bir parçası olmuştur ve devam eden işbirliğimiz ve ortak başarımız için sabırsızlanıyoruz.

—— Keda Endüstri Grubu A.Ş.

Ben sohbet şimdi

200mm/300mm HDPCVD Kubbeleri İçin Yarı İletken Uygulamalarında Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri

200mm/300mm HDPCVD Kubbeleri İçin Yarı İletken Uygulamalarında Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri

Açıklama
Vurgulamak:

Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri

,

Yarıiletken Uygulamaları HDPCVD Kubbesi

,

200mm/300mm Konfigürasyonları Endüstriyel Seramik Parçalar

Yüksek Korozyon Direnci Endüstriyel Seramik Parçalar: HDPCVD Kubbe ve Bileşenler
İhtiyaçlı Yarım iletken uygulamaları için gelişmiş seramik çözümleri
Yüksek performanslı endüstriyel seramik bileşenlerimiz, HDPCVD (Yüksek Nitelikli Plazma Kimyasal Buhar Depolaması) süreçleri de dahil olmak üzere yarı iletken üretiminde aşırı ortamlar için tasarlanmıştır.Özel termal karşılamak için birden fazla malzeme seçeneğinde mevcuttur, mekanik ve korozyon direnci gereksinimleri.
HDPCVD Kubbe Ürünleri
Erişilebilir türler ve özellikler:
  • Standart HDP Kubbe: 200mm / 300mm yapılandırmaları
  • SpeedDome: Yüksek verimlilikli işlemler için optimize edilmiş
  • DPS Kubbe: Geliştirilmiş plazma direnci tasarımları
  • Geleneksel Kabalık: Ra 0,5 ila Ra 5 arasında iç kontur yüzeyi finişi.3
  • Temel Faydalar: Filmin dökülmesini önler, parçacık kirliliğini en aza indirir, çeşitli süreç gereksinimleriyle uyumludur
Malzeme Seçimi Rehberi
Mülkiyet Alümina (Al2O3) Alüminyum Nitrür (AlN) Zirkonya (ZrO2) Silikon Karbid (SiC) Sapfir (Tek Kristal Al2O3)
yoğunluk (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Sertlik (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
Elastik Modül (GPa) 350-400 300-350 200-250 420-470 440-690
Kırılma sertliği (MPa*m1/2) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Isı iletkenliği (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
Isı Şok Direnci 200-280°C Harika. 300°C Harika. 800°C
Dielektrik Sabit (1MHz) 9.8 8.5-9 30-33 İletici 9.3
Hacim direnci (Ω*cm) >1014 >1014 Düzenlenebilir Farklı >1014
Ana Malzeme Avantajları
Alümina (Al2O3)
  • Mükemmel kimyasal istikrar ve korozyon direnci
  • Yüksek sertlik ve aşınma direnci
  • Kullanım bileşenleri, yalıtım substratları, korozyona dayanıklı kaplar için idealdir
Alüminyum Nitrür (AlN)
  • Sıcaklık dağılımı için üstün ısı iletkenliği
  • Mükemmel elektrik yalıtım özellikleri
  • Elektronik ısı alıcılar için mükemmel, yüksek güçli cihaz ambalajı
Zirkonya (ZrO2)
  • Olağanüstü kırılma dayanıklılığı
  • Değişim sertleştirme mekanizması
  • Kesme aletleri, oksijen sensörleri, yakıt hücreleri için uygundur
Silikon Karbid (SiC)
  • Aşırı sertlik ve ısı iletkenliği
  • Balistik zırh, yüksek sıcaklıklı rulmanlar, yarı iletken bileşenleri için mükemmel.
Sapfir (Tek Kristal Al2O3)
  • Yüksek sertlikle birleştirilen optik şeffaflık
  • Üstün termal şok direnci
  • Uzman optik ve aşırı ortam uygulamaları için idealdir
Performans Özellikleri
  • Yüksek korozyon direnci: Yarım iletken işleme saldırgan kimyasal ortamlara dayanır
  • Minimum parçacık üretimi: Mühendislik yüzeyleri temiz oda ortamlarında kirliliği azaltır
  • Özelleştirilebilir yüzey özellikleri: Özel işlem gereksinimlerini karşılamak için özel kabalık ve bitirme
  • Isı DayanıklılığıHızlı ısı döngüsünde boyut bütünlüğünü korur
  • Elektrikli yalıtım: Plazma uygulamaları için mükemmel dielektrik özellikleri
Başvurular
  • Yarım iletken işleme: HDPCVD odaları, kazım bileşenleri, plazma ortamları
  • Elektronik Paketleme: Isı yayıcılar, yalıtım substratları
  • Endüstriyel bileşenler: aşınmaya dayanıklı parçalar, korozyona dayanıklı kaplar
  • Gelişmiş Araştırmalar: Uzman laboratuvar ekipmanları, optik bileşenler

İletişim bilgileri
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

İlgili kişi: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Sorgunuzu doğrudan bize gönderin (0 / 3000)