200mm/300mm HDPCVD Kubbeleri İçin Yarı İletken Uygulamalarında Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri
Temel Özellikler
Menşe Yeri:
Çin
Marka Adı:
KEGU
Model Numarası:
Özelleştirilebilir
Ticaret Mülkleri
Minimum Sipariş Miktarı:
Pazarlık edilebilir
Fiyat:
pazarlık edilebilir
Ödeme Koşulları:
L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
Ürün Özetleri
Yüksek Korozyon Direnci Endüstriyel Seramik Parçalar: HDPCVD Kubbe ve Bileşenler İhtiyaçlı Yarım iletken uygulamaları için gelişmiş seramik çözümleriYüksek performanslı endüstriyel seramik bileşenlerimiz, HDPCVD (Yüksek Nitelikli Plazma Kimyasal Buhar Depolaması) süreçleri de dahil olmak üzere yarı ...
Ürün Ayrıntıları
Vurgulamak:
Yüksek Korozyon Dirençli Silisyum Karbür Seramik Bileşenleri
,Yarıiletken Uygulamaları HDPCVD Kubbesi
,200mm/300mm Konfigürasyonları Endüstriyel Seramik Parçalar
Usage:
Endüstri kullanımı
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
%85
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Yüksek aşınma direnci
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6 /K
Material Composition:
%4Si >%96Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
Aşınma ve aşınma direnci
Purity:
%98
Material:
silisyum karbür seramik
Acid Alkaline Proof:
Harika
Solubility:
Çözünmez
Open Porosity:
<%0,1
Flexural Strength:
350-550 MPa
Ürün Tanımı
Yüksek Korozyon Direnci Endüstriyel Seramik Parçalar: HDPCVD Kubbe ve Bileşenler
İhtiyaçlı Yarım iletken uygulamaları için gelişmiş seramik çözümleri
Yüksek performanslı endüstriyel seramik bileşenlerimiz, HDPCVD (Yüksek Nitelikli Plazma Kimyasal Buhar Depolaması) süreçleri de dahil olmak üzere yarı iletken üretiminde aşırı ortamlar için tasarlanmıştır.Özel termal karşılamak için birden fazla malzeme seçeneğinde mevcuttur, mekanik ve korozyon direnci gereksinimleri.
Yüksek performanslı endüstriyel seramik bileşenlerimiz, HDPCVD (Yüksek Nitelikli Plazma Kimyasal Buhar Depolaması) süreçleri de dahil olmak üzere yarı iletken üretiminde aşırı ortamlar için tasarlanmıştır.Özel termal karşılamak için birden fazla malzeme seçeneğinde mevcuttur, mekanik ve korozyon direnci gereksinimleri.
HDPCVD Kubbe Ürünleri
Erişilebilir türler ve özellikler:
- Standart HDP Kubbe: 200mm / 300mm yapılandırmaları
- SpeedDome: Yüksek verimlilikli işlemler için optimize edilmiş
- DPS Kubbe: Geliştirilmiş plazma direnci tasarımları
- Geleneksel Kabalık: Ra 0,5 ila Ra 5 arasında iç kontur yüzeyi finişi.3
- Temel Faydalar: Filmin dökülmesini önler, parçacık kirliliğini en aza indirir, çeşitli süreç gereksinimleriyle uyumludur
Malzeme Seçimi Rehberi
| Mülkiyet | Alümina (Al2O3) | Alüminyum Nitrür (AlN) | Zirkonya (ZrO2) | Silikon Karbid (SiC) | Sapfir (Tek Kristal Al2O3) |
|---|---|---|---|---|---|
| yoğunluk (g/cm3) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| Sertlik (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| Elastik Modül (GPa) | 350-400 | 300-350 | 200-250 | 420-470 | 440-690 |
| Kırılma sertliği (MPa*m1/2) | 3-4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| Isı iletkenliği (W/m*K) | 28-32 | 180-200 | 2-3 | 160-200 | 40 |
| Isı Şok Direnci | 200-280°C | Harika. | 300°C | Harika. | 800°C |
| Dielektrik Sabit (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30-33 | İletici | 9.3 |
| Hacim direnci (Ω*cm) | >1014 | >1014 | Düzenlenebilir | Farklı | >1014 |
Ana Malzeme Avantajları
Alümina (Al2O3)
- Mükemmel kimyasal istikrar ve korozyon direnci
- Yüksek sertlik ve aşınma direnci
- Kullanım bileşenleri, yalıtım substratları, korozyona dayanıklı kaplar için idealdir
Alüminyum Nitrür (AlN)
- Sıcaklık dağılımı için üstün ısı iletkenliği
- Mükemmel elektrik yalıtım özellikleri
- Elektronik ısı alıcılar için mükemmel, yüksek güçli cihaz ambalajı
Zirkonya (ZrO2)
- Olağanüstü kırılma dayanıklılığı
- Değişim sertleştirme mekanizması
- Kesme aletleri, oksijen sensörleri, yakıt hücreleri için uygundur
Silikon Karbid (SiC)
- Aşırı sertlik ve ısı iletkenliği
- Balistik zırh, yüksek sıcaklıklı rulmanlar, yarı iletken bileşenleri için mükemmel.
Sapfir (Tek Kristal Al2O3)
- Yüksek sertlikle birleştirilen optik şeffaflık
- Üstün termal şok direnci
- Uzman optik ve aşırı ortam uygulamaları için idealdir
Performans Özellikleri
- Yüksek korozyon direnci: Yarım iletken işleme saldırgan kimyasal ortamlara dayanır
- Minimum parçacık üretimi: Mühendislik yüzeyleri temiz oda ortamlarında kirliliği azaltır
- Özelleştirilebilir yüzey özellikleri: Özel işlem gereksinimlerini karşılamak için özel kabalık ve bitirme
- Isı DayanıklılığıHızlı ısı döngüsünde boyut bütünlüğünü korur
- Elektrikli yalıtım: Plazma uygulamaları için mükemmel dielektrik özellikleri
Başvurular
- Yarım iletken işleme: HDPCVD odaları, kazım bileşenleri, plazma ortamları
- Elektronik Paketleme: Isı yayıcılar, yalıtım substratları
- Endüstriyel bileşenler: aşınmaya dayanıklı parçalar, korozyona dayanıklı kaplar
- Gelişmiş Araştırmalar: Uzman laboratuvar ekipmanları, optik bileşenler
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- E-posta: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- Whatsapp: 8613390790728
-
WeChat:
Scarlettseren533
İlgili Ürünler
-
1650°C maksimum servis sıcaklığı, 380MPa esneklik gücü ve korozyona dirençli silikon karbid mühürleme halkaları
Silisyum Karbür (SiC) Sızdırmazlık Halkaları Zorlu Uygulamalar İçin Gelişmiş Performans Ürüne Genel Bakış Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür Sızdırmazlık Halkalarımız, aşırı çalışma koşullarında eşsiz performans sunmak üzere tasarlanmış, sızdırmazlık teknolojisinin zirvesini temsil eder. Küçük ... -
Özel silikon karbid seramik boru yakıcıları 1650 °C maksimum servis sıcaklığı,% 20 yakıt azaltma ve termal şok direnci ile
Özel silikon karbid seramik boru yakıcılar Fined Radiant tüpler ZG Industrial, aşırı koşullar için tasarlanmış yüksek performanslı özel silikon karbid seramik boru yakıcıları ve kanatlı ışıltılı borular tedarik ediyor.Si/SiC kompozit borularımız üstün ısı aktarımı sağlar., olağanüstü dayanıklılık ve ... -
Üstün aşınma direnci, uzatılmış hizmet ömrü ve endüstriyel uygulamalar için hassas mühendislik ile silikon karbid kum püskürtme nozlu
Silisyum Karbür (SiC) Kumlama Nozulları Endüstriyel yüzey işleme uygulamaları için üstün aşınma direnci Silisyum Karbür Kumlama Nozullarımız zorlu yüzey işleme uygulamalarında olağanüstü dayanıklılık ve hassasiyet için tasarlanmıştır. Gelişmiş izostatik presleme ve basınçsız sinterleme teknolojisiyl... -
Çoklu Atış Kabiliyetine Sahip ve Hafif Balistik Koruma için NIJ Sertifikalı Silisyum Karbür Vücut Zırhı
Silikon Karbid Seramik Zırh: Üstün Balistik Koruma Gelişmiş silikon karbid (SiC) seramik zırhımız, olağanüstü sertliği birleştiren balistik malzeme teknolojisinin zirvesini temsil ediyor (9.5 Mohs) ağırlığı önemli ölçüde azalmış, personel ve araçlar için yüksek hız ve zırhı delen tehditlere karşı e...
