ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.

Name: ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.
Brand: Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
Availability: InStock

ผลิตภัณฑ์ทั้งหมด

ซีลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก
(30)

ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา
(12)

องค์ประกอบความร้อน
(46)

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์
(11)

อะลูมิเนียมออกไซด์ เซรามิก
(34)

ซีรคอนิโอออกไซด์เซรามิก
(2)

โบรออนไนไตรดเซรามิก
(4)

ผงเซรามิค
(5)

ได้รับการรับรอง

จีน Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd รับรอง

ความคิดเห็นของลูกค้า

เอ็นจีเคให้ความสำคัญกับความร่วมมือระยะยาวกับ Shaanxi Kegu เซรามิก SSiC ของพวกเขามีความเป็นเลิศด้านคุณภาพและนวัตกรรม ซึ่งเป็นแรงผลักดันความสำเร็จร่วมกันของเรา ขอให้ความร่วมมือดำเนินต่อไป!

—— บริษัท เอ็นจีเค เทอร์มอล เทคโนโลยี จำกัด

ที่ Huike เราภูมิใจในความเป็นหุ้นส่วนระยะยาวของเรากับ Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. ซึ่งเป็นความร่วมมือที่หยั่งรากลึกในความไว้วางใจ นวัตกรรม และความเป็นเลิศร่วมกัน ความเชี่ยวชาญของพวกเขาในเซรามิก SSiC และโซลูชันที่เชื่อถือได้ได้สนับสนุนโครงการของเราอย่างต่อเนื่อง

—— ซูโจว ฮุ่ยเค่อ เทคโนโลยี จำกัด

เราในเคด้าชื่นชมมากต่อความร่วมมือที่ยาวนานของเรากับ บริษัท ชานซี เคกู นิวแมเทอเรียล เทคโนโลยี จํากัดโซลูชั่นเซรามิก SSiC คุณภาพสูงของพวกเขาเป็นส่วนสําคัญของโครงการของเรา และเราหวังที่จะร่วมมือต่อและประสบความสําเร็จร่วมกัน.

—— บริษัท เคดา อินดัสเตรียล กรุ๊ป จํากัด

สนทนาออนไลน์ตอนนี้ฉัน

ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

ภาพใหญ่ : ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.

รายละเอียดสินค้า:

ติดต่อ

ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.

ลักษณะ

เน้น:

ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนต่อการกัดกร่อนสูง

โดม HDPCVD สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์

ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมสำหรับขนาด 200 มม./300 มม.

ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: โดมและส่วนประกอบ HDPCVD

โซลูชันเซรามิกขั้นสูงสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการ
ส่วนประกอบเซรามิกอุตสาหกรรมประสิทธิภาพสูงของเราได้รับการออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงกระบวนการ HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition) มีให้เลือกหลายวัสดุเพื่อตอบสนองความต้องการด้านความร้อน กลไก และความทนทานต่อการกัดกร่อน

ผลิตภัณฑ์โดม HDPCVD

ประเภทและข้อมูลจำเพาะที่มี:

โดม HDP มาตรฐาน: การกำหนดค่า 200 มม. / 300 มม.
SpeedDome: เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีปริมาณงานสูง
โดม DPS: การออกแบบที่ทนทานต่อพลาสมาที่ได้รับการปรับปรุง
ความหยาบผิวแบบกำหนดเอง: ผิวสำเร็จของพื้นผิวด้านในตั้งแต่ Ra 0.5 ถึง Ra 5.3
ประโยชน์หลัก: ป้องกันการหลุดลอกของฟิล์ม ลดการปนเปื้อนของอนุภาค เข้ากันได้กับข้อกำหนดของกระบวนการต่างๆ

คู่มือการเลือกวัสดุ

คุณสมบัติ	อะลูมินา (Al₂O₃)	อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)	เซอร์โคเนีย (ZrO₂)	ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)	แซฟไฟร์ (คริสตัลเดี่ยว Al₂O₃)
ความหนาแน่น (g/cm³)	3.9	3.3	6.0	3.21	3.97
ความแข็ง (GPa)	14-17	10-12	13	27-28	22.5
โมดูลัสยืดหยุ่น (GPa)	350-400	300-350	200-250	420-470	440-690
*ความเหนียวในการแตกหัก (MPam¹/²)**	3-4	2.8-3.3	10-11	3.5-3.6	2.6
*การนำความร้อน (W/mK)**	28-32	180-200	2-3	160-200	40
ความทนทานต่อการกระแทกจากความร้อน	200-280°C	ดีเยี่ยม	300°C	ดีเยี่ยม	800°C
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก (1MHz)	9.8	8.5-9	30-33	นำไฟฟ้า	9.3
*สภาพต้านทานปริมาตร (Ωcm)**	>10¹⁴	>10¹⁴	ปรับได้	แตกต่างกันไป	>10¹⁴

ข้อดีของวัสดุหลัก

อะลูมินา (Al₂O₃)

เสถียรภาพทางเคมีและความทนทานต่อการกัดกร่อนดีเยี่ยม
ความแข็งสูงและความทนทานต่อการสึกหรอ
เหมาะสำหรับส่วนประกอบที่สึกหรอ วัสดุฉนวน ภาชนะทนต่อการกัดกร่อน

อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)

การนำความร้อนที่เหนือกว่าสำหรับการกระจายความร้อน
คุณสมบัติความเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม
เหมาะสำหรับอ่างความร้อนอิเล็กทรอนิกส์ บรรจุภัณฑ์อุปกรณ์กำลังสูง

เซอร์โคเนีย (ZrO₂)

ความเหนียวในการแตกหักเป็นพิเศษ
กลไกการเพิ่มความแข็งแกร่งในการเปลี่ยนแปลง
เหมาะสำหรับเครื่องมือตัด เซ็นเซอร์ออกซิเจน เซลล์เชื้อเพลิง

ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

ความแข็งและความนำความร้อนสูง
ดีเยี่ยมสำหรับเกราะกันกระสุน ตลับลูกปืนอุณหภูมิสูง ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์

แซฟไฟร์ (คริสตัลเดี่ยว Al₂O₃)

ความโปร่งใสทางแสงรวมกับความแข็งสูง
ความทนทานต่อการกระแทกจากความร้อนที่เหนือกว่า
เหมาะสำหรับการใช้งานด้านแสงและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง

คุณสมบัติประสิทธิภาพ

ความทนทานต่อการกัดกร่อนที่เหนือกว่า: ทนทานต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
การสร้างอนุภาคน้อยที่สุด: พื้นผิวที่ออกแบบมาช่วยลดการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด
คุณสมบัติพื้นผิวที่ปรับแต่งได้: ความหยาบผิวและการตกแต่งที่ปรับแต่งเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ
ความเสถียรทางความร้อน: รักษาความสมบูรณ์ของมิติภายใต้การหมุนเวียนความร้อนอย่างรวดเร็ว
ฉนวนไฟฟ้า: คุณสมบัติไดอิเล็กทริกที่ดีเยี่ยมสำหรับการใช้งานพลาสมา

แอปพลิเคชัน

การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์: ห้อง HDPCVD, ส่วนประกอบการกัด, สภาพแวดล้อมพลาสมา
บรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์: ตัวกระจายความร้อน, วัสดุฉนวน
ส่วนประกอบอุตสาหกรรม: ชิ้นส่วนทนต่อการสึกหรอ, ภาชนะทนต่อการกัดกร่อน
การวิจัยขั้นสูง: อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการพิเศษ, ส่วนประกอบออปติคัล

แท็ก:

ผู้ติดต่อ: Ms. Yuki

โทร: 8615517781293

ผลิตภัณฑ์อื่น ๆ

ปรับปรุงความดันไม่ซินเตอร์ SiC รอลเลอร์ 1650 °C ทนต่อความร้อนสําหรับหม้อเตาหม้อ

ความหนาแน่น: > 3.05g/cm3

ความแข็งแรงของแรงดัดงอ: 380MPA

วัสดุ: sic

ส่วนประกอบ:SiC: > 98%

เกราะป้องกันร่างกายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ได้รับการรับรองจาก NIJ พร้อมความสามารถในการรับแรงกระแทกหลายครั้งและการป้องกันน้ำหนักเบาเพื่อการป้องกันขีปนาวุธ

วัสดุ: sic

ส่วนประกอบ:SiC: > 98%

สี: สีดำ

ความหนาแน่น: > 3.05g/cm3

1650°C Max Service Temper เซนเตอร์ SSiC แซกเกอร์ที่ไม่มีความดัน: การแก้ไขอุณหภูมิสูงตามความต้องการสําหรับการใช้งานที่ต้องการ

วัสดุ: sic

ส่วนประกอบ:SiC: > 98%

สี: สีดำ

ความหนาแน่น: > 3.05g/cm3

ลูกบด SiC เผาผนึกแบบไม่ใช้แรงดัน - สื่อบดซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนประสิทธิภาพสูงสำหรับงานเหมืองแร่และเซรามิก

วัสดุ: sic

ส่วนประกอบ:SiC: > 98%

สี: สีดำ

ความหนาแน่น: > 3.05g/cm3

สายสี่เหลี่ยม SSiC ระดับอุตสาหกรรมที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ความแข็งแรงในการบิด 380MPa และประสิทธิภาพที่เหนือกว่า

วัสดุ: sic

ส่วนประกอบ:SiC: > 98%

สี: สีดำ

ความหนาแน่น: > 3.05g/cm3

ซีลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก

ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา

องค์ประกอบความร้อน

เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์

อะลูมิเนียมออกไซด์ เซรามิก

ซีรคอนิโอออกไซด์เซรามิก

โบรออนไนไตรดเซรามิก

ผงเซรามิค

ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนต่อการกัดกร่อนสูง

โดม HDPCVD สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์

ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมสำหรับขนาด 200 มม./300 มม.

เซรามิกคาร์ไบด์ซิลิคอน,

ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาแบบไม่ใช้แรงดัน,

ซิค เซรามิคส์

ปรับปรุงความดันไม่ซินเตอร์ SiC รอลเลอร์ 1650 °C ทนต่อความร้อนสําหรับหม้อเตาหม้อ

ซีลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก

ปรับปรุงความดันไม่ซินเตอร์ SiC รอลเลอร์ 1650 °C ทนต่อความร้อนสําหรับหม้อเตาหม้อ

ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา

หัวเผา SiC เสถียรที่อุณหภูมิสูง พร้อมทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิและการกัดกร่อนสำหรับเตาอุตสาหกรรม