ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงสำหรับใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในโดม HDPCVD ขนาด 200 มม./300 มม.
คุณสมบัติพื้นฐาน
สถานที่กำเนิด:
จีน
ชื่อแบรนด์:
KEGU
หมายเลขรุ่น:
ปรับแต่งได้
การซื้อขายอสังหาริมทรัพย์
ปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ:
ต่อรองได้
ราคา:
โปร่ง
เงื่อนไขการชำระเงิน:
L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
สรุปผลิตภัณฑ์
ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: โดมและส่วนประกอบ HDPCVD โซลูชันเซรามิกขั้นสูงสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการ ส่วนประกอบเซรามิกอุตสาหกรรมประสิทธิภาพสูงของเราได้รับการออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงกระบวนการ HDPCVD (High-Density Plasma ...
รายละเอียดสินค้า
เน้น:
ส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ทนต่อการกัดกร่อนสูง
,โดม HDPCVD สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์
,ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมสำหรับขนาด 200 มม./300 มม.
Usage:
การใช้อุตสาหกรรม
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
ทนต่อการสึกหรอสูง
Thermal Expansion Coefficient:
4.0-4.5 × 10^-6 /เค
Material Composition:
4%ศรี >96%ซิก
Working Temperature:
1650
Advantage:
ทนต่อการสึกหรอและการเสียดสี
Purity:
98%
Material:
เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
Acid Alkaline Proof:
ยอดเยี่ยม
Solubility:
ไม่ละลายน้ำ
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350-550 MPa
คําอธิบายสินค้า
ชิ้นส่วนเซรามิกอุตสาหกรรมทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: โดมและส่วนประกอบ HDPCVD
โซลูชันเซรามิกขั้นสูงสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการ
ส่วนประกอบเซรามิกอุตสาหกรรมประสิทธิภาพสูงของเราได้รับการออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงกระบวนการ HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition) มีให้เลือกหลายวัสดุเพื่อตอบสนองความต้องการด้านความร้อน กลไก และความทนทานต่อการกัดกร่อน
ส่วนประกอบเซรามิกอุตสาหกรรมประสิทธิภาพสูงของเราได้รับการออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงกระบวนการ HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition) มีให้เลือกหลายวัสดุเพื่อตอบสนองความต้องการด้านความร้อน กลไก และความทนทานต่อการกัดกร่อน
ผลิตภัณฑ์โดม HDPCVD
ประเภทและข้อมูลจำเพาะที่มี:
- โดม HDP มาตรฐาน: การกำหนดค่า 200 มม. / 300 มม.
- SpeedDome: เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีปริมาณงานสูง
- โดม DPS: การออกแบบที่ทนทานต่อพลาสมาที่ได้รับการปรับปรุง
- ความหยาบผิวแบบกำหนดเอง: ผิวสำเร็จของพื้นผิวด้านในตั้งแต่ Ra 0.5 ถึง Ra 5.3
- ประโยชน์หลัก: ป้องกันการหลุดลอกของฟิล์ม ลดการปนเปื้อนของอนุภาค เข้ากันได้กับข้อกำหนดของกระบวนการต่างๆ
คู่มือการเลือกวัสดุ
| คุณสมบัติ | อะลูมินา (Al₂O₃) | อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) | เซอร์โคเนีย (ZrO₂) | ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) | แซฟไฟร์ (คริสตัลเดี่ยว Al₂O₃) |
|---|---|---|---|---|---|
| ความหนาแน่น (g/cm³) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| ความแข็ง (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| โมดูลัสยืดหยุ่น (GPa) | 350-400 | 300-350 | 200-250 | 420-470 | 440-690 |
| ความเหนียวในการแตกหัก (MPa*m¹/²) | 3-4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| การนำความร้อน (W/m*K) | 28-32 | 180-200 | 2-3 | 160-200 | 40 |
| ความทนทานต่อการกระแทกจากความร้อน | 200-280°C | ดีเยี่ยม | 300°C | ดีเยี่ยม | 800°C |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30-33 | นำไฟฟ้า | 9.3 |
| สภาพต้านทานปริมาตร (Ω*cm) | >10¹⁴ | >10¹⁴ | ปรับได้ | แตกต่างกันไป | >10¹⁴ |
ข้อดีของวัสดุหลัก
อะลูมินา (Al₂O₃)
- เสถียรภาพทางเคมีและความทนทานต่อการกัดกร่อนดีเยี่ยม
- ความแข็งสูงและความทนทานต่อการสึกหรอ
- เหมาะสำหรับส่วนประกอบที่สึกหรอ วัสดุฉนวน ภาชนะทนต่อการกัดกร่อน
อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)
- การนำความร้อนที่เหนือกว่าสำหรับการกระจายความร้อน
- คุณสมบัติความเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม
- เหมาะสำหรับอ่างความร้อนอิเล็กทรอนิกส์ บรรจุภัณฑ์อุปกรณ์กำลังสูง
เซอร์โคเนีย (ZrO₂)
- ความเหนียวในการแตกหักเป็นพิเศษ
- กลไกการเพิ่มความแข็งแกร่งในการเปลี่ยนแปลง
- เหมาะสำหรับเครื่องมือตัด เซ็นเซอร์ออกซิเจน เซลล์เชื้อเพลิง
ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
- ความแข็งและความนำความร้อนสูง
- ดีเยี่ยมสำหรับเกราะกันกระสุน ตลับลูกปืนอุณหภูมิสูง ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์
แซฟไฟร์ (คริสตัลเดี่ยว Al₂O₃)
- ความโปร่งใสทางแสงรวมกับความแข็งสูง
- ความทนทานต่อการกระแทกจากความร้อนที่เหนือกว่า
- เหมาะสำหรับการใช้งานด้านแสงและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
คุณสมบัติประสิทธิภาพ
- ความทนทานต่อการกัดกร่อนที่เหนือกว่า: ทนทานต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรงในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
- การสร้างอนุภาคน้อยที่สุด: พื้นผิวที่ออกแบบมาช่วยลดการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด
- คุณสมบัติพื้นผิวที่ปรับแต่งได้: ความหยาบผิวและการตกแต่งที่ปรับแต่งเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ
- ความเสถียรทางความร้อน: รักษาความสมบูรณ์ของมิติภายใต้การหมุนเวียนความร้อนอย่างรวดเร็ว
- ฉนวนไฟฟ้า: คุณสมบัติไดอิเล็กทริกที่ดีเยี่ยมสำหรับการใช้งานพลาสมา
แอปพลิเคชัน
- การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์: ห้อง HDPCVD, ส่วนประกอบการกัด, สภาพแวดล้อมพลาสมา
- บรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์: ตัวกระจายความร้อน, วัสดุฉนวน
- ส่วนประกอบอุตสาหกรรม: ชิ้นส่วนทนต่อการสึกหรอ, ภาชนะทนต่อการกัดกร่อน
- การวิจัยขั้นสูง: อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการพิเศษ, ส่วนประกอบออปติคัล
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- อีเมล: scarlett.s@kegugroup.com
- โทรศัพท์: 8616602956098
- Whatsapp: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
-
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ความแข็งแรงในการบิด 380MPa และความทนทานต่อการกัดกร่อน
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ผลงานที่พัฒนาขึ้นสําหรับการใช้งานที่ต้องการ ภาพรวมสินค้า แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์แบบไม่กระตุ้นแรงกดของเรา เป็นจุดสูงสุดของเทคโนโลยีปิดซิลิคอนการใช้กระบวนการผลิตที่ก้าวหน้ารวมถึงการกดแหวนแหวนขนาดเล็กและการกดไอโซสแตติกสําหรับส่วนประกอบขนาดใหญ่, เราให้บริการแก้ไขการปิดที่ถูกต... -
เครื่องเผาท่อซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกที่กําหนดเองที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ลดน้ํามัน 20% และมีความทนต่อการกระแทกทางอุณหภูมิ
ท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบ ZG Industrial จัดหาท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับสภาวะที่รุนแรง ท่อคอมโพสิต Si/SiC ของเราให้การถ่ายเทความร้อนที่เหนือกว่า ความทนทานเป็นพิเศษ และการประหยัดพลังงานอย่างมา... -
ช่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความทนทานต่อการใช้งานที่ดีกว่า, อายุการใช้งานยาวนานและวิศวกรรมแม่นยําสําหรับการใช้งานอุตสาหกรรม
เครื่องฉีดทรายจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ความทนทานต่อการสวมใส่ที่ดีกว่าสําหรับการใช้งานในการบําบัดพื้นผิวอุตสาหกรรม เครื่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรา ถูกออกแบบมาเพื่อความทนทานและความแม่นยําสูงสุด ในการใช้งานในการบํารุงผิวที่ต้องการผลิตโดยใช้เทคโนโลยีบดแบบไอโซสแตติกที่ทันสมัยและบดความดันโดยไม่ใช้น้ํา... -
เกราะป้องกันร่างกายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ได้รับการรับรองจาก NIJ พร้อมความสามารถในการรับแรงกระแทกหลายครั้งและการป้องกันน้ำหนักเบาเพื่อการป้องกันขีปนาวุธ
เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์: การป้องกันขีปนาวุธที่เหนือกว่า เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขั้นสูงของเราเป็นสุดยอดของเทคโนโลยีวัสดุขีปนาวุธ ผสมผสานความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ (9.5 Mohs) เข้ากับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมาก เพื่อมอบการป้องกันที่ไม่เหมือนใครสำหรับบุคลากรและยานพาหนะจากภัยคุกคามความเร็วสูงและเจา...
