|
Подробная информация о продукте:
|
| Материал: | Sic | Состав: карбид кремния: | >85% |
|---|---|---|---|
| цвет: | Черный | Плотность: | ≥ 3,65 г/см3 |
| Макс. Температура обслуживания: | 1380 ℃ | изгибная прочность: | 250МПа |
| Твердость: | ≥ 84HRA | Водопоглощение: | ≤0,2% |
| Окрашивание: | < 0,02% | прочность на изгиб: | ≥290MPa |
| Выделить: | Керамическое кольцо из алюминия высокой чистоты,Алюминиевое керамическое фокусное кольцо,Алюминиевое керамическое кольцо |
||
| Особенность | Польза для вашего процесса |
|---|---|
| Исключительная устойчивость к плазме | Удлиняет срок службы:Выдерживает агрессивные плазменные среды в камерах нагрева и осаждения, уменьшая генерацию частиц и частоту замены. |
| Высокая диэлектрическая прочность | Высокая электрическая изоляция:Предотвращает утечку тока и дугу, обеспечивая стабильность процесса и защиту чувствительных компонентов камеры. |
| Высокая коррозионная устойчивость | Химически инертный:Противоречит коррозии галогенов (например, CF4, Cl2) и других процессуальных газов, сохраняя геометрическую целостность и последовательность процесса. |
| Высокая чистота (A998) | Минимизирует загрязнение:99Содержание 0,8% алюминия обеспечивает отсутствие металлического загрязнения, что имеет решающее значение для производства высокочистых пластинок и высоких показателей урожайности. |
| Отличная механическая прочность | Прочный и надежный:Сохраняет структурную целостность при тепловых и механических нагрузках, обеспечивая долгосрочную производительность и сокращая непланированное время простоя. |
Контактное лицо: Ms. Yuki
Телефон: 8615517781293