|
Ürün ayrıntıları:
|
| Malzeme: | Sic | Kompozisyon: SiC: | >%85 |
|---|---|---|---|
| Renk: | Siyah | Yoğunluk: | ≥3.65g/cm3 |
| Maks. Servis Sıcaklığı: | 1380 ℃ | Eğilme Dayanımı: | 250MPa |
| Sertlik: | ≥84hra | Su Emme: | ≤0,2 |
| aşınma: | <% 0.02 | bükülme mukavemeti: | ≥290MPa |
| Vurgulamak: | Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Halka,Alümina Seramik Odak Halkası,Alümina Seramik Kenar Halkası |
||
| Özellik | Süreçiniz İçin Yarar |
|---|---|
| Olağanüstü Plazma Direnci | Hizmet ömrünü uzatır:Etch ve deppozisyon odalarında agresif plazma ortamlarına dayanır, parçacık üretimini ve değiştirme sıklığını azaltır. |
| Yüksek Dielektrik Gücü | Üstün elektrik yalıtımı:Akım sızıntısını ve yaylanmasını önler, süreç istikrarını sağlar ve hassas oda bileşenlerini korur. |
| Yüksek korozyon direnci | Kimyasal olarak inert:Geometrik bütünlüğünü ve süreç tutarlılığını koruyan halogen bazlı (örneğin, CF4, Cl2) ve diğer süreç gazlarının korozyona dayanıklıdır. |
| Yüksek saflık (A998) | Kirliliği en aza indirir:99% 0,8 alümina içeriği, yüksek saflıklı vafeler üretimi ve yüksek verim oranları için kritik olan herhangi bir metal kirliliği sağlamamaktadır. |
| Mekanik Dayanıklılığı | Dayanıklı ve Güvenilir:Termal ve mekanik stres altında yapısal bütünlüğü korur, uzun vadeli performans sağlar ve planlanmamış duraklama süresini azaltır. |
İlgili kişi: Ms. Yuki
Tel: 8615517781293