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商品の詳細:
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| 材料: | sic | 作曲:sic: | >85% |
|---|---|---|---|
| 色: | 黒 | 密度: | ≥3.0g/cm3 |
| マックス。サービス温度: | 1380℃ | 曲げ強度: | 250mpa |
| ハイライト: | 炭化ケイ素セラミックス焼成炉,85% Sic パドル,85% Sic チューブ |
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パラメータ:
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性能 |
単位 |
HS-A |
HS-P |
HS-XA |
|
粒度 |
μm |
4-10 |
4-10 |
4-10 |
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密度 |
g/cm |
≥3.1 |
3.0-3.1 |
>3.1 |
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硬度(ヌープ) |
Kg/mm² |
2800 |
2800 |
2800 |
|
曲げ強度 4 pt @ RT |
MPa*m1/2 |
385 |
240 |
420 |
|
*10³1b/in² |
55 |
55 |
55 |
|
|
圧縮強度 @ RT |
Mpa |
3900 |
|
3900 |
|
*10³1b/in² |
560 |
560 |
||
|
弾性率 @ RT |
Gpa |
410 |
400 |
410 |
|
*10³1b/in² |
59 |
58 |
59 |
|
|
ワイブル係数(2パラメータ) |
|
8 |
19 |
12 |
|
ポアソン比 |
|
0.14 |
0.14 |
0.14 |
|
破壊靭性 @ RT ダブルトルション & SENB |
MPa*m1/2 |
8 |
8 |
8 |
|
*1³1b/in²in½ |
||||
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熱膨張係数 RT to 700℃ |
X10-6mm/mmK |
4.02 |
4.2 |
4.02 |
|
X10-6 in/in°F |
2.2 |
2.3 |
2.2 |
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|
最高使用温度.空気 平均比熱 @ RT |
°C |
1900 |
1900 |
1900 |
|
J/gmK |
0.67 |
0.59 |
0.67 |
|
|
熱伝導率 @ RT |
W/mK |
125.6 |
110 |
125.6 |
|
Btu/ft h°F |
72.6 |
64 |
72.6 |
|
|
@200°C |
W/mK |
102.6 |
|
102.6 |
|
Btu/ft h°F |
59.3 |
59.3 |
||
|
@400°C |
W/mK |
77.5 |
|
77.5 |
|
Btu/ft h°F |
44.8 |
44.8 |
||
|
RT to 1000°Cでの透過性 |
31MPa以下でガス漏れなし |
|||
|
電気抵抗率 @ RT |
Ohm-cm |
102-106 |
N/A |
102-106 |
|
放射率 |
|
0.9 |
0.9 |
0.9 |
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SiCパドルは、半導体、LED、太陽エネルギー産業における拡散プロセス用のウェーハボートホルダーとして使用されます。
SiCプロセスチューブは、半導体、LED、太陽エネルギー産業の拡散炉設備に使用されます。
SiCボートは、ホウ素またはリン拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして使用され、ディスクリート半導体産業で広く使用されています。
SiCドラゴンウェーハボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されています。
高温での化学的安定性
優れた高温強度
耐熱衝撃性
酸とアルカリに対する耐食性
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コンタクトパーソン: Ms. Yuki
電話番号: 8615517781293