|
Szczegóły Produktu:
|
| Tworzywo: | Sic | Skład:SiC: | > 85% |
|---|---|---|---|
| Kolor: | Czarny | Gęstość: | ≥3,65 g/cm3 |
| Maks. Temperatura serwisowa: | 1380 ℃ | Wytrzymałość na zginanie: | 250MPa |
| Twardość: | ≥84Hra | Absorpcja wody: | ≤0,2% |
| Przetarcie: | <0,02% | wytrzymałość na zginanie: | ≥290MPa |
| Podkreślić: | Pierścień ceramiczny z tlenku glinu o wysokiej czystości,Ceramiczny pierścień skupiający z tlenku glinu,Ceramiczny pierścień krawędziowy z tlenku glinu |
||
| Funkcja | Korzyści dla Twojego procesu |
|---|---|
| Wyjątkowa odporność na plazmę | Wydłuża żywotność:Wytrzymuje agresywne środowisko plazmy w komorach trawienia i osadzania, zmniejszając wytwarzanie cząstek i częstotliwość wymiany. |
| Wysoka wytrzymałość dielektryczna | Doskonała izolacja elektryczna:Zapobiega upływowi prądu i wyładowaniom łukowym, zapewniając stabilność procesu i chroniąc wrażliwe elementy komory. |
| Wysoka odporność na korozję | Chemicznie obojętny:Odporny na korozję powodowaną przez halogeny (np. CF₄, Cl₂) i inne gazy procesowe, zachowując integralność geometryczną i spójność procesu. |
| Wysoka czystość (A998) | Minimalizuje zanieczyszczenia:Zawartość tlenku glinu na poziomie 99,8% gwarantuje brak zanieczyszczeń metalicznych, co ma kluczowe znaczenie dla produkcji płytek o wysokiej czystości i wysokich współczynników wydajności. |
| Doskonała wytrzymałość mechaniczna | Trwałe i niezawodne:Utrzymuje integralność strukturalną pod wpływem naprężeń termicznych i mechanicznych, zapewniając długoterminową wydajność i redukując nieplanowane przestoje. |
Osoba kontaktowa: Ms. Yuki
Tel: 8615517781293