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Anillos cerámicos de aluminio de alta pureza A998 (99,8%) para herramientas semiconductoras de 200 mm y 300 mm con resistencia excepcional al plasma

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Certificación
Porcelana Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaciones
Porcelana Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaciones
Comentarios de cliente
NGK valora nuestra larga asociación con Shaanxi Kegu. Sus cerámicas SSiC sobresalen en calidad e innovación, impulsando nuestro éxito mutuo. ¡Por una colaboración continua!

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

En Huike, nos enorgullece nuestra larga colaboración con Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., una asociación basada en la confianza, la innovación y la excelencia compartida. Su experiencia en cerámicas SSiC y soluciones confiables han respaldado consistentemente nuestros proyectos.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Nosotros en Keda apreciamos mucho nuestra asociación de larga data con Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Sus soluciones cerámicas SSiC de alta calidad han sido parte integral de nuestros proyectos y esperamos continuar la colaboración y el éxito compartido.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

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Anillos cerámicos de aluminio de alta pureza A998 (99,8%) para herramientas semiconductoras de 200 mm y 300 mm con resistencia excepcional al plasma

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Ampliación de imagen :  Anillos cerámicos de aluminio de alta pureza A998 (99,8%) para herramientas semiconductoras de 200 mm y 300 mm con resistencia excepcional al plasma

Datos del producto:
Lugar de origen: China
Nombre de la marca: KEGU
Número de modelo: Personalizable
Pago y Envío Términos:
Precio: 200-500 yuan/kg
Detalles de empaquetado: Caja de madera fuerte para el transporte marítimo mundial
Condiciones de pago: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacidad de la fuente: 2.000 PC/mes
Contacto

Anillos cerámicos de aluminio de alta pureza A998 (99,8%) para herramientas semiconductoras de 200 mm y 300 mm con resistencia excepcional al plasma

descripción
Material: Sic Composición:SiC: >85%
color: Negro Densidad: ≥ 3,65 g/cm3
Máx. Temperatura de servicio: 1380 ℃ Resistencia a la flexión: 250MPa
Dureza: ≥ 84HRA Absorción de agua: ≤0.2%
Abrasión: < 0,02% resistencia a la flexión: ≥290MPa
Resaltar:

Anillo cerámico de alumina de alta pureza

,

Anillo de enfoque cerámico de alumina

,

Anillo de borde cerámico de aluminio

Anillos cerámicos avanzados de alumina para equipos de semiconductores
Fabricamos productos de alto rendimientoAnillos cerámicos de aluminioespecialmente diseñados para aplicaciones críticas en equipos de procesamiento de plasma semiconductor.Aluminio de alta pureza A998 (99,8%), nuestros componentes proporcionan una resistencia al plasma sin igual y confiabilidad en demandantes cámaras de etch y CVD.
Resumen del producto
  • Anillos de borde de cuello / Anillos de profundidad
  • Anillos de enfoque
  • Insertores y revestimientos de cámaras
  • Otros componentes del kit de procesos personalizados
Estos componentes están diseñados con precisión para cumplir con los estrictos requisitos deHerramientas para la fabricación de semiconductores de 200 mm y 300 mm, garantizando la estabilidad y el rendimiento del proceso.
Principales propiedades y ventajas del material
Características Beneficio para su proceso
Resistencia al plasma excepcional Prolonga la vida útil:Resiste ambientes de plasma agresivos en cámaras de grabado y deposición, reduciendo la generación de partículas y la frecuencia de reemplazo.
Alta resistencia dieléctrica El aislamiento eléctrico superior:Previene la fuga de corriente y el arco, garantizando la estabilidad del proceso y protegiendo los componentes sensibles de la cámara.
Alta resistencia a la corrosión Químicamente inerte:Resiste la corrosión de los gases de proceso a base de halógenos (por ejemplo, CF4, Cl2) y otros, manteniendo la integridad geométrica y la consistencia del proceso.
Alto grado de pureza (A998) Minimiza la contaminación:99El contenido de alumina de 0,8% asegura que no haya contaminación metálica, lo cual es crítico para la fabricación de obleas de alta pureza y altas tasas de rendimiento.
Excelente resistencia mecánica Durable y confiable:Mantiene la integridad estructural bajo tensión térmica y mecánica, garantizando el rendimiento a largo plazo y reduciendo el tiempo de inactividad no programado.
Aplicaciones primarias en la fabricación de semiconductores
Nuestros anillos de cerámica son consumibles vitales y componentes dentro de cámaras de plasma:
  • Sistemas de grabado:Se utiliza comoAnillos de enfoqueyEnvases para cámarasEn dieléctrico y conductor herramientas de grabado para controlar con precisión la densidad de plasma y proteger las paredes de la cámara.
  • Sistemas de CVD/PVD:Servir comoAnillos en el borde del collaryLas entradaspara definir el entorno de procesamiento y evitar la deposición no deseada.
  • Las cámaras de limpieza de plasma:Actuar como duraderoLas líneasque resisten la erosión del plasma de O2 o NF3, extendiendo los ciclos de mantenimiento.
¿Por qué elegir nuestros anillos de cerámica de alumina?
  • Fabricados para la precisión:Nos especializamos en la producción de componentes con tolerancias ajustadas y acabados superficiales superiores, asegurando un ajuste perfecto y un rendimiento óptimo de plasma en su conjunto de herramientas específico.
  • Diseñado para el rendimiento:Nuestro enfoque en la ciencia y la ingeniería de materiales da como resultado piezas que ofrecen una vida útil más larga, reducen el número de partículas y mejoran la repetibilidad del proceso.
  • Compatible con las principales plataformas:Nuestros productos están diseñados para su uso en una amplia gama deEquipo de semiconductores de 200 mm y 300 mmde los principales fabricantes.
¿Busca un socio confiable para sus componentes cerámicos semiconductores?Póngase en contacto con nosotros hoy para especificaciones técnicas, precios y para discutir soluciones personalizadas para su aplicación.

etiqueta:

Portador del catalizador de aluminio,

substratos de cerámica del alúmina,

Alúmina de cerámica

Contacto
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Persona de Contacto: Ms. Yuki

Teléfono: 8615517781293

Envíe su pregunta directamente a nosotros (0 / 3000)

Sobre

cerámica de carburo de silicio

Horquillas de SiC resistentes a altas temperaturas con temperatura de servicio máxima de 1650 °C y resistencia a la flexión de 3800 MPa para la fabricación de semiconductores

Rollo de SiC sinterizado sin presión personalizable 1650°C Resistente al calor para hornos de chimenea de rodillos

Carburo de silicio unido por reacción

Tubos de refrigeración por aire de carburo de silicio sinterizado por reacción para refrigeración industrial a altas temperaturas con temperatura de servicio máxima de 1380 °C y resistencia a la flexión de 250 MPa

Quemador de SiC estable a altas temperaturas con resistencia al choque térmico y a la corrosión para hornos industriales

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