|
|
รายละเอียดสินค้า:
|
| วัสดุ: | sic | ส่วนประกอบ:SiC: | >85% |
|---|---|---|---|
| สี: | สีดำ | ความหนาแน่น: | ≥3.65g/cm3 |
| สูงสุด อุณหภูมิบริการ: | 1380 ℃ | ความแข็งแรงของแรงดัดงอ: | 250MPa |
| ความแข็ง: | ≥84HRA | การดูดซึมน้ำ: | ≤0.2% |
| รอยขีดข่วน: | <0.02% | แรงดัด: | ≥290MPa |
| เน้น: | แหวนเซรามิกอัลลูมิเนียความบริสุทธิ์สูง,แหวนฟอกัสเซรามิกอัลลูมิเนีย,อัลลูมิเนีย เซรามิค เริ่มวงแหวน |
||
| คุณสมบัติ | ประโยชน์สำหรับกระบวนการของคุณ |
|---|---|
| ความทนทานต่อพลาสมาเป็นพิเศษ | ยืดอายุการใช้งาน: ทนทานต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงในห้องกัดและห้องสะสม ลดการสร้างอนุภาคและความถี่ในการเปลี่ยน |
| ความแข็งแรงไดอิเล็กทริกสูง | ฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า: ป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าและการเกิดอาร์ค ทำให้มั่นใจได้ถึงเสถียรภาพของกระบวนการและปกป้องส่วนประกอบของห้องที่ละเอียดอ่อน |
| ความต้านทานการกัดกร่อนสูง | เฉื่อยทางเคมี: ทนทานต่อการกัดกร่อนจากฮาโลเจน (เช่น CF₄, Cl₂) และก๊าซกระบวนการอื่นๆ รักษาความสมบูรณ์ทางเรขาคณิตและความสม่ำเสมอของกระบวนการ |
| ความบริสุทธิ์สูง (A998) | ลดการปนเปื้อน: ปริมาณอะลูมินา 99.8% ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่มีการปนเปื้อนของโลหะ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและอัตราผลตอบแทนสูง |
| ความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม | ทนทานและเชื่อถือได้: รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้ความเครียดจากความร้อนและกลไก ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพในระยะยาวและลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดหมาย |
ผู้ติดต่อ: Ms. Yuki
โทร: 8615517781293
Thai
