|
|
تفاصيل المنتج:
|
| مادة: | كذا | التركيب: كربيد: | >85% |
|---|---|---|---|
| لون: | أسود | كثافة: | ≥3.65g/cm3 |
| الأعلى. درجة حرارة الخدمة: | 1380 ℃ | قوة العاطفة: | 250 ميجا باسكال |
| صلابة: | ≥84hra | امتصاص الماء: | ≤0.2 ٪ |
| تآكل: | <0.02 ٪ | قوة الانحناء: | ≥290MPa |
| إبراز: | حلقة السيراميك من الألومينا ذات النقاء العالي,حلقة التركيز السيراميكية من الألومينا,حلقة الحافة السيراميكية من الألومينا,Alumina Ceramic Focus Ring,Alumina Ceramic Edge Ring |
||
| الميزة | الفائدة لعمليتك |
|---|---|
| مقاومة البلازما الاستثنائية | تطيل عمر الخدمة: تتحمل بيئات البلازما القوية في غرف الحفر والترسيب، مما يقلل من توليد الجسيمات وتكرار الاستبدال. |
| قوة عزل كهربائي عالية | عزل كهربائي فائق: يمنع تسرب التيار والتقوس، مما يضمن استقرار العملية وحماية مكونات الغرفة الحساسة. |
| مقاومة عالية للتآكل | خامل كيميائيًا: يقاوم التآكل من الغازات القائمة على الهالوجين (مثل CF₄، Cl₂) والغازات الأخرى المستخدمة في العملية، مع الحفاظ على السلامة الهندسية واتساق العملية. |
| نقاء عالي (A998) | يقلل من التلوث: يضمن محتوى الألومينا بنسبة 99.8% عدم وجود تلوث معدني، وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع الرقائق عالية النقاء ومعدلات الإنتاجية المرتفعة. |
| قوة ميكانيكية ممتازة | متين وموثوق: يحافظ على السلامة الهيكلية في ظل الضغط الحراري والميكانيكي، مما يضمن الأداء على المدى الطويل وتقليل وقت التوقف غير المجدول. |
اتصل شخص: Ms. Yuki
الهاتف :: 8615517781293
Arabic
