logo
Rumah ProdukKeramik Aluminium Oksida

Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi A998 (99.8%) untuk Peralatan Semikonduktor 200mm dan 300mm dengan Ketahanan Plasma Luar Biasa

Sertifikasi
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikasi
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Sertifikasi
Ulasan pelanggan
NGK menghargai kemitraan lama kami dengan Shaanxi Kegu. Keramik SSiC mereka unggul dalam kualitas dan inovasi, mendorong kesuksesan bersama kami.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Di Huike, kami bangga dengan kemitraan jangka panjang kami dengan Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., sebuah kolaborasi yang berakar pada kepercayaan, inovasi, dan keunggulan bersama. Keahlian mereka dalam keramik SSiC dan solusi yang andal secara konsisten mendukung proyek-proyek kami.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Kami di Keda sangat menghargai kemitraan lama kami dengan Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Solusi keramik SSiC berkualitas tinggi mereka telah menjadi bagian integral dari proyek kami dan kami berharap untuk melanjutkan kolaborasi dan kesuksesan bersama.

—— Keda Industrial Group Co., Ltd.

I 'm Online Chat Now

Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi A998 (99.8%) untuk Peralatan Semikonduktor 200mm dan 300mm dengan Ketahanan Plasma Luar Biasa

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Gambar besar :  Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi A998 (99.8%) untuk Peralatan Semikonduktor 200mm dan 300mm dengan Ketahanan Plasma Luar Biasa

Detail produk:
Tempat asal: Cina
Nama merek: KEGU
Nomor model: Dapat disesuaikan
Syarat-syarat pembayaran & pengiriman:
Harga: 200-500 yuan/kg
Kemasan rincian: kotak kayu yang kuat untuk pengiriman global
Syarat-syarat pembayaran: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Menyediakan kemampuan: 2.000 buah/bulan

Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi A998 (99.8%) untuk Peralatan Semikonduktor 200mm dan 300mm dengan Ketahanan Plasma Luar Biasa

Deskripsi
Bahan: Sic Komposisi:SiC: >85%
Warna: Hitam Kepadatan: ≥3.65g/cm3
Maks. Suhu Layanan: 1380 ℃ Kekuatan Lentur: 250MPa
Kekerasan: ≥84hra Penyerapan Air: ≤0,2%
Abrasi: <0,02% kekuatan lentur: ≥290MPa
Menyoroti:

Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi

,

Cincin Fokus Keramik Alumina

,

Cincin Tepi Keramik Alumina

Cincin Keramik Alumina Lanjutan untuk Peralatan Semikonduktor
Kami memproduksi Cincin Keramik Alumina berkinerja tinggi yang direkayasa khusus untuk aplikasi penting dalam peralatan pemrosesan plasma semikonduktor. Dibuat dari Alumina Kemurnian Tinggi A998 (99.8%), komponen kami memberikan ketahanan plasma dan keandalan yang tak tertandingi dalam ruang etsa dan CVD yang menuntut.
Ikhtisar Produk
  • Cincin Tepi Kerah / Cincin Dep
  • Cincin Fokus
  • Sisipan & Pelapis Ruang
  • Komponen Kit Proses Khusus Lainnya
Komponen ini direkayasa presisi untuk memenuhi persyaratan ketat dari peralatan fabrikasi semikonduktor 200mm dan 300mm, memastikan stabilitas proses dan hasil.
Properti & Keunggulan Material Utama
Fitur Manfaat untuk Proses Anda
Ketahanan Plasma Luar Biasa Memperpanjang Umur Layanan: Tahan terhadap lingkungan plasma agresif di ruang etsa dan deposisi, mengurangi generasi partikel dan frekuensi penggantian.
Kekuatan Dielektrik Tinggi Isolasi Listrik Unggul: Mencegah kebocoran arus dan busur, memastikan stabilitas proses dan melindungi komponen ruang yang sensitif.
Ketahanan Korosi Tinggi Secara Kimiawi Inert: Tahan terhadap korosi dari halogen (misalnya, CF₄, Cl₂) dan gas proses lainnya, menjaga integritas geometris dan konsistensi proses.
Kemurnian Tinggi (A998) Meminimalkan Kontaminasi: Kandungan alumina 99,8% memastikan tidak ada kontaminasi logam, yang sangat penting untuk manufaktur wafer kemurnian tinggi dan tingkat hasil yang tinggi.
Kekuatan Mekanik yang Sangat Baik Tahan Lama dan Andal: Mempertahankan integritas struktural di bawah tekanan termal dan mekanik, memastikan kinerja jangka panjang dan mengurangi waktu henti yang tidak terjadwal.
Aplikasi Utama dalam Manufaktur Semikonduktor
Cincin keramik kami adalah bahan habis pakai dan komponen penting di dalam ruang plasma:
  • Sistem Etsa: Digunakan sebagai Cincin Fokus dan Pelapis Ruang dalam alat Etsa Dielektrik dan Konduktor untuk mengontrol kepadatan plasma secara tepat dan melindungi dinding ruang.
  • Sistem CVD/PVD: Berfungsi sebagai Cincin Tepi Kerah dan Sisipan untuk menentukan lingkungan pemrosesan dan mencegah deposisi yang tidak diinginkan.
  • Ruang Pembersihan Plasma: Berfungsi sebagai Pelapis yang tahan lama yang tahan terhadap erosi dari plasma O₂ atau NF₃, memperpanjang siklus perawatan.
Mengapa Memilih Cincin Keramik Alumina Kami?
  • Diproduksi untuk Presisi: Kami mengkhususkan diri dalam memproduksi komponen dengan toleransi yang ketat dan hasil akhir permukaan yang unggul, memastikan kesesuaian yang sempurna dan kinerja plasma yang optimal dalam perangkat alat khusus Anda.
  • Dirancang untuk Kinerja: Fokus kami pada ilmu material dan rekayasa menghasilkan suku cadang yang memberikan masa pakai lebih lama, jumlah partikel yang berkurang, dan pengulangan proses yang lebih baik.
  • Kompatibel dengan Platform Utama: Produk kami dirancang untuk digunakan dalam berbagai peralatan semikonduktor 200mm dan 300mm dari OEM terkemuka.
Mencari mitra yang andal untuk komponen keramik semikonduktor Anda? Hubungi kami hari ini untuk spesifikasi teknis, harga, dan untuk membahas solusi khusus untuk aplikasi Anda.

Rincian kontak
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Kontak Person: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Mengirimkan permintaan Anda secara langsung kepada kami (0 / 3000)