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Aperçu ProduitsCeramique à base d'oxyde d'aluminium

Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

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Certificat
Chine Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certifications
Chine Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certifications
Examens de client
NGK apprécie son partenariat de longue date avec Shaanxi Kegu. Leurs céramiques SSiC excellent en qualité et en innovation, ce qui favorise notre succès mutuel. Continuons à collaborer !

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Chez Huike, nous sommes fiers de notre partenariat de longue date avec Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., une collaboration basée sur la confiance, l'innovation et l'excellence partagée.Leur expertise en céramique SSiC et leurs solutions fiables ont toujours soutenu nos projets.

—— La société Suzhou Huike Technology Co., Ltd. est une société de technologie

Chez Keda, nous apprécions grandement notre partenariat de longue date avec la société Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Leurs solutions de céramique SSiC de haute qualité ont été intégrées à nos projets et nous attendons avec impatience une collaboration continue et un succès partagé..

—— Le groupe Keda Industrial Group Co., Ltd.

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Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Image Grand :  Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

Détails sur le produit:
Lieu d'origine: Chine
Nom de marque: KEGU
Numéro de modèle: Personnalisable
Conditions de paiement et expédition:
Prix: 200-500 yuan/kg
Détails d'emballage: Boîte en bois solide pour le transport maritime mondial
Conditions de paiement: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacité d'approvisionnement: 2 000 PCs/mois
Contact

Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

description de
Matériel: Sic Composition:SiC: >85%
couleur: Noir Densité: ≥ 3,65 g/cm3
Max. Température de service: 1380 ℃ Résistance à la flexion: 250MPa
Dureté: ≥84HRA Absorption d'eau: ≤0,2%
Abrasion: < 0,02% résistance à la flexion: ≥290MPa
Mettre en évidence:

Anneau en céramique d'aluminium de haute pureté

,

Anneau de mise au point en céramique d'aluminium

,

Anneaux de bord en céramique d'aluminium

Anneaux en céramique d'aluminium avancé pour équipements à semi-conducteurs
Nous fabriquons des produits de haute performanceAnneaux en céramique d'aluminiumspécialement conçus pour des applications critiques dans les équipements de traitement de plasma à semi-conducteurs.Alumine A998 à haute pureté (99,8%), nos composants offrent une résistance au plasma et une fiabilité inégalées dans les chambres de gravure et de CVD exigeantes.
Vue d'ensemble du produit
  • Rings de bord de collier / Rings de profondeur
  • Anneaux de mise au point
  • Les inserts et revêtements de chambre
  • Autres composants personnalisés du kit de processus
Ces composants sont conçus avec précision pour satisfaire aux exigences strictes deOutils de fabrication de semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm, assurant la stabilité et le rendement du processus.
Principales propriétés et avantages du matériau
Caractéristique Des bienfaits pour votre processus
Résistance au plasma exceptionnelle Prolonge la durée de vie:Résiste aux environnements plasmatiques agressifs dans les chambres de gravure et de dépôt, réduisant la production de particules et la fréquence de remplacement.
Résistance diélectrique élevée Isolation électrique supérieure:Prévient les fuites de courant et les arcs, assurant la stabilité du processus et protégeant les composants sensibles de la chambre.
Résistance élevée à la corrosion Chimiquement inerte:Résistant à la corrosion par les halogènes (par exemple, CF4, Cl2) et d'autres gaz de procédé, conservant l'intégrité géométrique et la cohérence du procédé.
Purification élevée Réduit la contamination:99La teneur en aluminium de 0,8% garantit l'absence de contamination métallique, ce qui est essentiel pour la fabrication de plaquettes de haute pureté et des rendements élevés.
Excellente résistance mécanique Durable et fiable:Maintient l'intégrité de la structure sous contrainte thermique et mécanique, assurant des performances à long terme et réduisant les temps d'arrêt imprévus.
Applications principales dans la fabrication de semi-conducteurs
Nos anneaux en céramique sont des consommables et des composants essentiels dans les chambres à plasma:
  • Systèmes de gravure:Utilisé commeAnneaux de mise au pointetLes revêtements de chambreDans les outils de gravure diélectrique et conducteur pour contrôler avec précision la densité du plasma et protéger les parois de la chambre.
  • Systèmes CVD/PVD:Servir commeAnneaux de bord de collieretLes insertspour définir l'environnement de traitement et prévenir les dépôts indésirables.
  • Chambres de nettoyage par plasma:Agir de façon durableLes revêtementsqui résistent à l'érosion par les plasmas O2 ou NF3 et prolongent les cycles de maintenance.
Pourquoi choisir nos anneaux en céramique d'alumine?
  • Fabriqués pour la précision:Nous sommes spécialisés dans la production de composants avec des tolérances serrées et des finitions de surface supérieures, assurant un ajustement parfait et des performances plasmatiques optimales dans votre ensemble d'outils spécifique.
  • Conçu pour des performances:Notre concentration sur les sciences des matériaux et l'ingénierie aboutit à des pièces qui offrent une durée de vie plus longue, une réduction du nombre de particules et une meilleure répétabilité du processus.
  • Compatible avec les principales plateformes:Nos produits sont conçus pour une large gamme deÉquipements à semi-conducteurs de 200 mm et 300 mmdes principaux OEM.
Vous cherchez un partenaire fiable pour vos composants céramiques semi-conducteurs?Contactez-nous aujourd'hui pour les spécifications techniques, les prix et pour discuter de solutions personnalisées pour votre application.

Produit Tag:

Porteur de catalyseur en aluminium,

substrats en céramique d'alumine,

Alumine en céramique

Coordonnées
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Personne à contacter: Ms. Yuki

Téléphone: 8615517781293

Envoyez votre demande directement à nous (0 / 3000)

À propos

céramique au carbure de silicium

fourches SiC résistantes aux températures élevées avec température maximale de service de 1650 °C et résistance à la flexion de 3800 MPa pour la fabrication de semi-conducteurs

Ruloir SiC sintré sans pression 1650°C résistant à la chaleur pour les fours à rouleaux

Carbure de silicium lié par réaction

Tubes de refroidissement à air de carbure de silicium sintré par réaction pour le refroidissement industriel à haute température, à température maximale de service de 1380 °C et résistance à la flexion de 250 MPa

Brûleur à SiC stable à haute température, résistant aux chocs thermiques et à la corrosion pour fours industriels

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