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Produktdetails:
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| Material: | Sic | Komposition: sic: | > 85% |
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| Farbe: | Schwarz | Dichte: | ≥ 3,65 g/cm3 |
| Max. Service -Temperatur: | 1380 ℃ | Biegefestigkeit: | 250mpa |
| Härte: | ≥84HRA | Wasseraufnahme: | ≤ 0,2% |
| Abrasionen: | < 0,02% | Biegefestigkeit: | ≥290MPa |
| Hervorheben: | Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikring,Aluminiumoxid-Keramik-Fokusring,Aluminiumoxid-Keramik-Kantenring |
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Keramikring, Kragenkantenring, Fokusring, Kammer-Einsatz Moer-Ring, Liner, Dep-Ring
Beschreibung: Ring-Serie
Material: Hochreines Aluminiumoxid (A998)
Eigenschaften:
Hohe Plasmabeständigkeit
Hohe dielektrische Festigkeit
Hohe Korrosionsbeständigkeit
Anwendungen: 200 mm, 300 mm Halbleiterausrüstung
Materialien:
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Ansprechpartner: Ms. Yuki
Telefon: 8615517781293