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商品の詳細:
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| 材料: | sic | 作曲:sic: | >85% |
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| 色: | 黒 | 密度: | ≥3.65g/cm3 |
| マックス。サービス温度: | 1380℃ | 曲げ強度: | 250mpa |
| 硬度: | ≥84HRA | 吸水性: | ≤0.2% |
| アブラシオン: | 0.02% 未満 | 曲げ強度: | ≥290MPa |
| ハイライト: | 高純度アルミナセラミックリング,アルミナ セラミック 焦点リング,アルミナ セラミック エッジリング |
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セラミックリング、カラーエッジリング、フォーカスリング、チャンバーインサートモアリング、ライナー、デップリング
説明:リングシリーズ
材質:高純度アルミナ(A998)
特徴:
高プラズマ耐性
高誘電強度
高耐食性
用途:200mm、300mm半導体製造装置
材料:
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コンタクトパーソン: Ms. Yuki
電話番号: 8615517781293