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商品の詳細:
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| 材料: | sic | 組成:SiC: | ＞85% |
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| 色: | 黒 | 密度: | ≥3.65g/cm3 |
| 最大。サービス温度: | 1380℃ | 曲げ強度: | 250MPa |
| 硬度: | ≥84HRA | 吸水性: | ≤0.2％ |
| アブラシオン: | 0.02% 未満 | 曲げ強度: | ≥290MPa |
| ハイライト: | 高純度アルミナセラミックリング,アルミナ セラミック 焦点リング,アルミナ セラミック エッジリング |
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| 特徴 | あなた の プロセス に 対する 益 |
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| 特殊 な プラズマ 耐性 | 使用期間を延長する:エッチと堆積室で攻撃的なプラズマ環境に耐えるため,粒子の生成と交換頻度を減らす. |
| 高い電解強度 | 優れた電気隔熱:流出や電弧を防ぎ,プロセスの安定性を確保し,敏感なコンポーネントを保護する. |
| 耐腐食性 が 高く | 化学的に不活性:ハロゲン基 (CF4,Cl2) や他のプロセスガスによる腐食に耐性があり,幾何学的整合性とプロセス一貫性を維持する. |
| 高度な純度 (A998) | 汚染 を 最小 に する99.8%のアルミニウム含有量は,高純度ウエファー製造と高収量には不可欠な金属汚染がないことを保証します. |
| 優れた 機械 的 強さ | 耐久 し て 信頼 できる:熱力や機械的なストレス下で構造の整合性を維持し,長期間の性能を保証し,予定外の停止時間を減らす. |
コンタクトパーソン: Ms. Yuki
電話番号: 8615517781293
Japanese
